气体质量流量控制器&气体流量计

HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围,客户可选择最适合的类型。我们可提供三种阀门,客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式,包括模拟式、数字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取决于产品型号)。我们产品的流量范围可覆盖微量流量直至超大流量。

*1 Devicenet是一种通讯方式的标志。
*2 PROFIBUS是一种国际化的通讯方式标志。

最高范围

压力不敏感型高性能质量流量控制器D500

最尖端的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500

高稳定性质量流量模块—气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI(压力不敏感型)质量流量模块

卓越的性能

热感传感器,压力钝感质量流量计SEC-Z700系列

应用高温技术的高可靠性,高精度数字式流量控制器

销量最佳

多范围/多气体的数字式质量流量控制器 SEC-Z500X

提供多气体,多量的解决方案,是销量第一的气体质量流量控制器。高精度,快速响应,轻巧的尺寸。全金属

通用(数字/模拟式 通讯模式)

数字式质量流量控制器 SEC-N100 系列

针对多种工业。多种通讯方式,数字式/模拟式,DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范围控制从10SCCM到1000SLM,全金属

通用(模拟式 通讯模式)

质量流量控制器 SEC-E系列

适用于广泛范围的流量控制:在同一系列中,适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制 适用于广泛的用途:在普通产业市场中,拥有众多的销售业绩,引以为豪。 低成本:产品阵容中有力求具有成本优势的型号: SEC-E40MK3/E50MK3

质量流量控制器 SEC-400系列

它是搭载有温控阀的基本型号。

利用小型装置的SEC-310,可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。

高精度型号:SEC-405可以进行±0.5%F.S.的流量控制。

高温

高温应用质量流量控制器 SEC-8000F/D/E系列

适用于高温环境的数字式质量流量控制器

附件

multi-function control unit

This multi-function control unit is equipped with a program setting function, preset function, and integrating function. The front panel simplifies operation.

PE-D10-20

PE-D20控制单元通过前端面板控制高频集成功能

PE-D10-20

PE-D10是一个独立的设备应用于质量流量计

PE-series

专用电源PE系列可向质量流量控制器、质量流量计、压力调节器提供稳定的电源并具有显示功能,此外还能提供稳定的标准流量设定电压。此系列包含了流量输出警报功能,提供0信号以及4-20mA,并能同时适用于6个流量控制器。

Display unit DU series

它是显示质量流量控制器・质量流量计的流量输出信号的单元装置。根据质量流量控制器・质量流量计的全标度流量值,可以直接读取控制・测量流量。

 

 

Settings units SU-503ED/502EA

它可以把PAC系列专用电源输入的设定流量用标准电压(+5V DC)转换成任意的流量设定信号,输入到质量流量控制器。

SU-503ED:数字式 SU-502EA:模拟式

MFT20 mass flow controller tester image

如果质量流量控制器中产生了不良现象时,为了找出原因,必须要发现构成MFC系统的SEC・电源・显示器・设定器・电缆等异常以及SEC自身的不良原因。通过MFT-20可以对驱动SEC、输入输出的电压进行监测,或者通过MFT-20的控制,检查SEC是否正常。因此,在从装置配管上卸下SEC之前,可以迅速地确认SEC的故障以及电源等的故障。并且,通过内置在主体中的电位差计也可以控制SEC。

 

不必卸下配管,可以简便地进行检测。

不需要电源(使用原有的信号电缆的电源)

可以阀门全开/全关闭

可以使用自动清零功能(仅装备了自动清零功能的SEC)

* Devicenet is a trademark of Open DeviceNet Vender Association.
   PROFIBUS is a trademark of PROFIBUS International.
   EtherCAT is a trademark of Beckhoff Automation GmbH, Germany.