FTIR气体分析仪 FG-100A 系列
概要
FG-100A系列产品是可以对防止地球温暖化而需要削减的温室效应气体、PFCs等各种半导体・FPD工艺用气体类进行各种分析的FTIR气体分析仪。
该装置力求在现场中完成高效的气体检测、实现大幅小巧化的同时，还备有单检测池类型和双检测池类型两个种类。不仅向检测点的设置・移动非常简便，而且分析用途也多种多样。
包括最适用于半导体・FPD工艺气体分析的软件、丰富的程序库以及可移动的采样单元装置在内，把它们作为一个总系统向您推荐。
长达50年之久HORIBA的有关环境气体分析的技术和经验支持着半导体・FPD工艺的气体监测。
特征
■可以按照0.6秒的间隔进行数据采样。
检测时，如果选择“速度优先模式”，则可以按照1秒以下的周期，进行数据采样。
在短时间内就结束以及详细确认条件变更时的废气变化情况等场合是有效的。
※ 根据检测条件将会有所不同。
■具有无与伦比的使用便利性、小巧型设计。
它达到了行业内最小的小巧尺寸。在现场中容易进行设置・移动，这将进一步扩大它的分析用途。
■具有单检测池和双检测池这两种类型。
备有单检测池类型和双检测池类型这两个种类。双检测池类型在除害装置的IN／OUT这2点等进行检测浓度大幅不同的检测点，可以通过单按式切换方式进行连续检测。不需要更换检测池，可以进行高效的气体分析。
■根据检测对象的气体浓度，产品中备有5种检测池长度。
检测池长度有5种(0.01、0.1、0.8、2.4、10m)。通过简单的检测池装置的更换操作，就可以利用与检测对象气体浓度相符的检测池长度实现高精度的检测。并且，我们还准备了与工艺反应后减压条件下的气体检测相应的检测池。
■最适于连续检测的无液体氮检测器。
它采用了不需要液体氮的电子冷却式MCT检测器。不需要在洁净室内进行复杂的补充液体氮的操作，可实现不断的连续检测。
■完善的程序库。
作为程序库，它标准装备了与半导体・FPD工艺相对应的38种以上的光谱和检量线。并且，产品阵容中还有260种以上的光谱，支持高效的气体分析。
BCl3 | CF4 | CO | OF2 | TEOS |
C2F4 | CH2F2 | H2O | SF6 | TMB |
C2F6 | CH3F | HF | SiCl2H2 | WF6 |
C3F6 | CH4 | N2O | SiF4 | C2H2F2 |
C3F8 | CHF3 | NF3 | SiH4 | C2H3F |
C4F6 | ClF3 | NH3 | SO2F2 | C2HF3 |
C4F8 | CO2 | NO2 | SO2 | |
C5F8 | COF2 | NO | SOF2 |
■次ppm级的高灵敏度检测。
通过采用长光路检测池，可以检测次ppm级的低浓度气体。
●检测对象成分和检测下限
制造: HORIBA
規格
能够适用于次ppm级低浓度气体的FG-100A系列气体分析仪和具有浓度显示功能以及输出功能的控制装置进行组合，可以不必使用电脑就能进行洁净室内的连续高灵敏度监测。通过采样线的切换进行多点监测等，可以为您提供建议从而组建各种各样的系统。利用FG-100A系列气体分析仪进行连续高灵敏度监测，可以为半导体・FPD产业中的EHS(环境・健康・安全)做出贡献。