
质量流量控制器附件
The PE-D20 control unit integrates high frequency functions via the front panel controls.
The PE series of dedicated power sources can be used as drive power sources for mass flow controllers, meters, and auto pressure regulator as well as for dedicated display units, and supply the standard flow rate setting voltage. The series includes a lineup of models that have flow rate alarm output function, models offering 0 signals and 4 to 20mA, and models that are capable of driving up to six units.
它可以把PAC系列专用电源输入的设定流量用标准电压(+5V DC)转换成任意的流量设定信号,输入到质量流量控制器。
SU-503ED:数字式 SU-502EA:模拟式
The CA series are conversion adapters that can be utilized when other manufactures mass flow control systems are used with mass flow controllers and meters. Simply select the appropriate adapter for your needs.
它是连接质量流量控制器・质量流量计和控制设备的信号电缆线。SC-A/DH2/EH2:对应于SEC-7300/4001/4000/8000/E400J、UR-7300、PV-1000各系列;SC-A4/D4/E4:对应于SEC-400/2000各系列;SC-D6/E6:对应于SEC-6470/6480。 CA系列是在利用其他公司质量流量控制系统使质量流量控制器・质量流量计在工作时可使用的转换适配器。我们备齐了与您的用途相符的所有适配器。
如果质量流量控制器中产生了不良现象时,为了找出原因,必须要发现构成MFC系统的SEC・电源・显示器・设定器・电缆等异常以及SEC自身的不良原因。通过MFT-20可以对驱动SEC、输入输出的电压进行监测,或者通过MFT-20的控制,检查SEC是否正常。因此,在从装置配管上卸下SEC之前,可以迅速地确认SEC的故障以及电源等的故障。并且,通过内置在主体中的电位差计也可以控制SEC。
不必卸下配管,可以简便地进行检测。
不需要电源(使用原有的信号电缆的电源)
可以阀门全开/全关闭
可以使用自动清零功能(仅装备了自动清零功能的SEC)








