Carrier gas liquid delivery series image

通过气液混合气化方式实现了液体材料的高效率气化

VC liquid source delivery system

由于是无载体类型,所以可以构筑小型气化系统

由于通过质量流量来测定发生量,所以可以不必受到温度・压力的影响进行液体材料的气化供给。