Piezo actuator valve image

它内置有高速响应的压电阀,接气部采用了全金属构造,最适于超清洁类型的高纯度气体供应系统。

通过金属封口方式实现了超低泄漏

不仅可进行气体的流量控制,而且还可以进行液体的流量控制