Applikationsbereich

Mit RF GDOES können

Mit RF GDOES können schnell und direkt simultane und quantitative Elementbestimmungen durchgeführt werden und zwar sowohl Bulkanalysen als auch Tiefenprofile. Aufgrund der neuartigen Hochfrequenzanregung kann die RF GDOES sowohl elektrisch leitende als auch nichtleitende Proben analysieren. Dabei können alle Elemente des Periodensystems außer den Edel¬gasen gemessen werden, also auch die leichten Elemente H, C, N, O, Cl und sogar Deuterium.

RF GDOES ermöglicht die schichtweise Analyse der Probe mit einem Tiefenauflösungsvermögen im Nanometer Bereich bis zu einer Tiefe von etwa 200 Mikrometern.

Das Hauptanwendungsgebiet der Geräte ist die schnelle, direkte und simultane Analyse industrieller Halb- oder Fertigerzeugnisse wie Stahl, Gusseisen und Buntmetalllegierungen sowie die Überwachung von Oberflächentechnologien wie Carbonitrierung, PVD- oder CVD-Beschichtung. Aufgrund der Fähigkeit zur Analyse von Nichtleitern werden aber auch zunehmend neue Anwendungsgebiete erschlossen, so beispielsweise im Korrosionsschutz (Lacke, Haftvermittler, Plastikbeschichtungen, kataphoretische und Eloxal-Schichten, Emaillen) sowie Keramiken und Gläser. Eine wichtige Anwen-dung ist die Kontrolle von Abscheide- und Ätzprozessen bei der Wafer-Herstellung.

Doped Si for PV
Coated PET
SiOx on quartz