Dünne Schichten
Produkte für die Dünnschicht-Messtechnik (Metrologie)
Ellipsometry is an optical non destructive technique allowing the accurate characterization of thin films, surface and interface. Spectroscopic Ellipsometer is mainly used to determine thin film thickness (from 1Å to 30µm) and optical constants (n,k).
Spektroskopische Ellipsometer
Einzigartige, innovative Technologien führen zu höchster Empfindlichkeit und Genauigkeit.
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In-Situ and In-Line Ellipsometers
Hohe Präzision und Messgeschwindigkeit bei der Kontrolle von Abscheidungs- oder Ätzprozessen.
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Thin Film Quality Control
NEW: Thin film thickness and optical constants in one click !
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Vollautomatische Prozessellipsometer
Verlässliche In-Line-Prozesskontrolle für hohen Durchsatz bei der Produktion, entwickelt für die Halbleiterindustrie.
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FPD-Metrologiesysteme
Entwickelt für die Flat-Panal-Display-Industrie, lassen sich Substrate bis zur siebten Generation handhaben.
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Software
DeltaPsi2 ist eine neue Software-Generation, basierend auf einer gemeinsamen GUI-Plattform. Sie wurde mit dem Ziel entwickelt, umfassenden und dennoch intuitiven Umgang mit den Systemen zu gewährleisten. Ihre überraschende Vielseitigkeit überzeugt bei der Bedienung der Ex-Situ- und In-Situ-Ellipsometer.