Räumliche Auflösung des Raman Imaging

Die räumliche Auflösung konfokaler Mikroskope ist durch die optische Diffraktionsgrenze bestimmt. Hierbei werden räumliche Auflösungen von unter 1 µm erreicht (abhängig von der Anregungswellenlänge, Objektiv und der konfokalen Realisation). Der Ansatz von HORIBA Scientific ist, durch echte konfokale Optiken eine Instrumentierung bis zur Diffraktionsgrenze und drüber hinaus zu betreiben. Dies spiegelt sich in der Qualität unserer Produkte wieder, die unseren Kunden die höchste räumliche Auflösung bieten.

Konfokales Raman Imaging auf der Mikrometer Skala

Diese standardmäßig vorhandene Eigenschaft aller Mikroramansysteme von HORIBA Scientific wird durch mechanische Mikroskoptische und stark vergrößernde Mikroskopobjektive gewährleistet. Partikel oder andere Probenmerkmale können sehr einfach gefunden, identifiziert und in ihrer räumlichen Ausdehnung durch Imaging visualisiert werden.

Raman Map von Polymerkugeln mit einem Durchmesser von 3 µm.

Konfokales Raman im Submikrometer Bereich

Optimierte Mikroskopobjektive, Auswahl der am besten geeigneten Anregungswellenlängen und spezielle, motorisierte Proben-Stages bieten eine Ramaninstrumentierung bis an die Grenze der optischen Auflösung – das Diffraktionslimit beim Fernfeld.

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Raman Map von 250 nm und 350 nm Merkmalen auf einem Halbleiter. Sample provided by ATMEL ROUSSET Université Paul Cezanne, France

Konfokales Raman in Nanometer Bereich

Um die optische Diffraktionsgrenze überwinden zu können müssen Nahfeldtechniken eingesetzt werden. Solche Ansätze bieten die Methoden NSOM /SNOM und Raman-AFM Kombinationen mit Tip Enhanced Raman Scattering (TERS). Während im Fernfeld Informationen auf der Nanometer Skala verloren gehen, erlauben Nahfeldtechniken eine Auflösung von unter 50 nm.

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TERS Map von 30nm hohen und 250nm langen SiOx Merkmalen auf einem Si-Substrat.