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L'ellipsométrie spectroscopique est une technique optique de surface, non destructive et non intrusive, largement utilisée pour la caractérisation des couches minces et des surfaces. Elle repose sur la modification de l'état de polarisation de la lumière lorsqu'elle est réfléchie obliquement par un échantillon en couche mince. Selon le type de matériau, les ellipsomètres spectroscopiques peuvent mesurer des épaisseurs allant de quelques Ångströms à plusieurs dizaines de microns. C'est également une excellente technique pour la mesure de multicouches.
L'ellipsométrie spectroscopique permet de caractériser toute une série de propriétés des couches minces, telles que leur épaisseur, leurs propriétés optiques (n, k), leur largeur de bande interdite, l'épaisseur des interfaces et la rugosité, la composition du film, l'uniformité en profondeur et en surface, etc.
Les matériaux adaptés à l'ellipsométrie spectroscopique comprennent les semi-conducteurs, les diélectriques, les polymères, les composés organiques et les métaux. L'ellipsométrie peut également être utilisée pour étudier les interfaces solide-liquide ou liquide-liquide.
Les ellipsomètres spectroscopiques HORIBA utilisent une technologie innovante pour effectuer des mesures de modulation de polarisation à haute fréquence sans aucun mouvement mécanique, offrant ainsi une caractérisation plus rapide, plus large et plus précise par rapport aux ellipsomètres conventionnels.
Ellipsomètre spectroscopique du FUV au NIR: 190 à 2100 nm
Ellipsomètre spectroscopique pour la mesure simple de couches minces
Ellipsomètre spectroscopique puissant et économique
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