半導体・FPD ウェットプロセス

ウェットプロセスにおける硫酸・過酸化水素中のppmレベルのフッ酸濃度管理を実現

【新製品】

ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適な、低濃度から高濃度までのフッ酸・塩酸を高精度に測定するHF/HCl濃度モニタ

ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適、低濃度のフッ酸・塩酸・アンモニアを高精度に測定

【新製品】

フォトレジスト現像液の主成分TMAH濃度を耐薬性の高いカーボンセンサと組み合わせてワイドレンジを高精度に計測

TMAH用導電率計 HE-960TMは、半導体・液晶プロセスで用いられるフォトレジスト現像液の主成分である、TMAH (Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)溶液の導電率を高精度に測定します。

【新製品】

半導体製造やFPD製造工程の薬液・排液管理に最適な導電率計。耐薬性の高いカーボンセンサと組み合わせワイドレンジを高精度に計測。

工業用導電率計 HE-480Hは、高濃度タイプの導電率計で、ワイドレンジ測定が可能です。各種薬液の濃度管理から水耕栽培の液体肥料の濃度管理まで、幅広く対応します。

HE-960R-GCは、ガラスカーボンをセンサに用いた比抵抗計です。

2箇所の比抵抗を同時測定・同時出力 耐薬品性センサ採用

半導体製造プロセスにおける洗浄、酸化膜形成等に使用されるオゾン水濃度を測定します。主配管に直接取り付けて、連続測定ができるオゾン水濃度モニタです。

低濃度から高濃度まで測定範囲をカバーする溶存オゾン濃度モニタです。

工業用pH計 HP-480は、使用頻度の高い機能を中心に搭載したスタンダードタイプのpH計です。各種工業分野における製造工程の監視や品質検査など、幅広い用途に対応します。