プラズマエミッションコントローラ RU-1000

プラズマ発光強度をセンサーで捉え独自のアルゴリズムにより自社製高速応答マスフローコントローラに適切な反応性ガス流量の指示を行い金属モードに近い成膜速度の向上と共に安定な成膜を実現します。反応性スパッタ中のプラズマ発光・スパッタ電源の電圧をモニタし、反応性ガス流量にフィードバック、コントロールすることで、成膜速度の向上、プラズマの安定化に貢献します。

コンパクトベーキングシステム LSC Series

液体材料の気化システムのベストセラーモデル。半導体や光ファイバー生産設備をはじめ、幅広い生産設備に採用されています。