エッチングプロセスでの検知例

　ドライエッチング工程では、エッチングが規定の境界面まで到達しているかどうかは、経験則に基づいた時間管理によって行われていることが多く、ウエハの直径が300ミリメートルと大型化していくに従い、既定の境界面でストップする技術がより重要になっています。そこで、最適なエッチングができている時点（＝エンドポイント）をリアルタイムに検知する技術が、歩留まり向上のために必要になります。
　エッチングのエンドポイントを時間で管理していると、チャンバ壁面からの脱ガス状態等のチャンバコンディションの差異により、オーバーエッチになってしまうなど再現性よくプロセスを行うことが難しい場合があります。
　そこで、チャンバ内のエッチングガスや反応生成物由来の成分のプラズマ発光強度変化をモニタすることで、エッチングガスや反応生成物の発光強度の増減の挙動を測定および常に最適なプロセスの終点検知を正確に検出することができます。