プラズマエミッションコントローラ

HORIBAのプラズマエミッションコントローラ は、プラズマ発光強度をセンサで捉え、独自のアルゴリズムによりマスフローコントローラに適切な反応性ガス流量の指示を行い、金属モードに近い成膜速度の向上と共に安定な成膜を実現します。

プラズマエミッションコントローラ RU-1000

プラズマ発光強度をセンサーで捉え独自のアルゴリズムにより自社製高速応答マスフローコントローラに適切な反応性ガス流量の指示を行い金属モードに近い成膜速度の向上と共に安定な成膜を実現します。

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