반도체
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반도체제조장비의 주요 부품 Mass Flow Controller. 그 성능, 품질은 반도체 품질 자체에 영향을 주는 정도로 중요한 역할을 담당하고 있습니다.그런 엄격한 업계에 있어 고품질로 기능성을 높인 제품을 계속해서 시장에 투입하고, 세계 30%이상을 자랑하고 있는 호리바에스텍이기 때문에 종래의 개념을 깨뜨린 완전히 새로운 종류의 Mass Flow Controller 가 탄생했습니다. 이제까지 가스의...
LabRam HR은 ultra high spectroscopic resolution과 UV-IR까지의 wavelength range를 갖추고 있습니다.
Cathodeluminescence MP-32S/M은 thermal 타입의 필드 에미션SEM을 사용하고 지금까지 불가능했던 미시영역에 있어서의 높은 분해능을 실현 sub Micron의 벽을 돌파했습니다.
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유니크한 디자인의 유니크한 분광기입니다. 일반적인 Czerny-Turner마운트의 분광기와 같은 디자인으로 고성능 이미지을 얻을때나 높은 throughput을 얻기 위해서 사용됩니다. CCD검출기를 사용하거나 이미지 혹은 높은 resolution에서 최적화되도록 광학 설계 되었습니다. 여러 application에 대응가능하며 사용이 쉽고 신뢰성이 좋은 중형분광기입니다.
유니크한 디자인의 유니크한 분광기입니다. 일반적인 Czerny-Turner마운트의 분광기와 같은 디자인으로 고성능 이미지을 얻을때나 높은 throughput을 얻기 위해서 사용됩니다. CCD검출기를 사용하거나 이미지 혹은 높은 resolution에서 최적화되도록 광학 설계 되었습니다. 여러 application에 대응가능하며 사용이 쉽고 신뢰성이 좋은 중형분광기입니다.
TRIAX 시리즈는 특수한 스펙트럼 보정 광학계를 특징으로 합니다, 높은 이미지 품질, 분해능, 그리고 throughput을 이데이 포카르프레인내의 분산축상 뿐만이 아니라, 슬릿의 높이의 방향에 따른 축상에서도 구현 할 수 있습니다.이로 인해 입사 슬릿상의 점광원은, 포카르프레인내의 모든 파장으로 점광원으로서 재이미지화 됩니다.TRIAX 시리즈 는 고분해가능한 어레이 검출기에 대응하여 폭넓은 어플리케이션에 최적화 되어 있습니다.
SymphonyIGA검출기는 0.8μm~1.7μm의 파장을 커버하는 높은 양자효율을 가진 InGaAsarray 검출기입니다. NIR영역의 약한빛에서도 noise없이 데이타를 얻을 수 있습니다. 액체질소냉각 타입과 전자냉각타입의 냉각방법이 있으면 512 pixel과 1024 pixel, application에 따라 선택이 가능합니다.
ICP발광 분석 장치ULTIMA-2C,ULTIMA-2C HR(은)는 시퀀셜(흑백 미터)의 파장 선택의 자유도와 멀티 (포리크로메이타)에 의한 동시 분석이 가능하고 신속성을 겸비한 이상의 콤비네이션 장치입니다
IPA(이소프로필 알코올)는, 반도체 제조의 Wet 세정 프로세스에 있어서의 건조 공정으로 넓게 이용되고 있습니다.근년(近年), 반도체 제조 프로세스에서는, Wafer Size의 대구경화나 미세 가공의 진보에 수반해, 각종 세정 장치나 CMP 장치 등의 IPA 건조 프로세스에 있어서의 IPA 가스 농도의 관리가, 생산성 향상을 위해 특별히 중요시되어 오고 있습니다.
HORIBA는, SC-1, SC-2를...
M시리즈는, 훌륭한 연구용 흑백 미터 패밀리입니다. 같은 클래스의 촛점거리를 가지는 것 외에 사제 흑백 미터를 뛰어난 분해능력, 유연성을 특징으로 하고 있습니다.
M시리즈는 「고성능 대형 흑백 미터」의 대명사입니다.
