초박막·다층막등 폭넓은 application에 대응하는 HORIBA JOBIN YVON의 elliposometer

광학측정에 의한 막두께는 비파괴 비접촉이라고 하는 큰 특징을 가지고 있습니다.
HORIBA JOBIN YVON에서는 다양한 제품을 제공하고 있습니다.

HORIBA Ellipsometer 소식

  • 자동 박막 계측 장치 Auto SE의 파장 범위를 확장
    HORIBA Scientidfic은 Auto SE의 파장 범위를 근적외선 영역까지역 확장해, 440 nm에서 1000 nm까지 측정이 가능하게 되었습니다. 이 성능 향상은, 태양전지, 반도체, 디스플레이 및 광전자 분야의 박막 평가에 있어서 이상적입니다.

라인업

Smart SE

Smart SE - Powerful and Cost Effective Spectroscopic Ellipsometer

Versatile spectroscopic ellipsometer delivering research grade performance at an economical price.

AutoSE

Auto SE - Simple한 박막두께 측정기

Sample을 보면서 빠르게 두께, 굴절율, 흡수율등을 측정할 수 있습니다.

"Auto SE는 비교 대상이 없다"

UVISEL - Spectroscopic Ellipsometer VUV to NIR: 142 to 2100 nm

분광 위상 변조 Ellipsometer (SPME)  UVISEL 는 어떤 기계적인 운동도 없이 편광을 변조하기 위하여 photoelastic 장치를 내장한 system입니다. 위상 변조 기술은 실험적으로 다양성과 성능면에서 중요한 이점을 제공합니다. 전통적인 ellipsometers와 비교해서 UVISEL 분광 ellipsometer는 얇은 박막 Sample과 낮은 인덱스...

측정 범위

推奨測定範囲（膜厚スケール）