LHT 30

LHT 30は,収差補正型トロイダルグレーティングをコアとして設計された世界で最初のVUV用モノクロメータである。本器は,3つの異なるグレーティングを用いて10nmから300nmまでのVUV全体をカバーする。また,数Åの分解能を持っており,30年経過した現在も特に優れた実験用モノクロメータである。

VTM 300

VTM 300(図5)は新世代の収差補正型トロイダルグレーティングをコアとして設計されたもので,1つのグレーティングでモノクロメータ及びフラットフィールド分光器として使うことができる。出射孔を1つの出射スリットから2次元検出器に代えた簡単な構造で,モノクロメータとして励起波長を選択したり,フラットフィールド分光器として,光源またはサンプルからの放射光の特性を評価することができ
る。50nmから300nmまでのEUV領域をカバーしており,主にリソグラフィの評価や,100nm付近では他と比較できないほど高いスループットを持った蛍光励起用として使われる。

図5 真空紫外分光器 VTM 300
図5 真空紫外分光器 VTM 300

TGS 300

VUV光源の特性評価は,光源の性能と信頼性の向上にとって重要な課題であり,TGS 300はそのために開発された分光器である。交換可能な3つのフラットフィールド型トロイダルグレーティングを使って,9-32nm,10-110nm,または,15-170nm の広い範囲を数Åの分解能で,時間分解に関する研究を行うことができる。本器には2次元マルチチャンネル・プレート検出器(MCP)またはVUV-CCDカメラが搭載され,光源の評価に最適である。

PGM 200

PGM 200は他の機種と違って,収差補正型平面グレーティングとトロイダルミラーを組み合わせている。このようなわずかな設計の違いが,入射ビームと出射ビームを平行にし,設置スペースに制限があるような場合に特に有利となる。これは高調波やガスまたは個体ターゲットのプラズマで発生するVUVレーザの場合である。PGM 200は同じ光学系でモノクロメータと分光器の両方に使うことができ,VTMよりも汎用の装置である。