Cathodoluminescence
전자빔 방사선 조사에 의해 시료에서 발생하는 Cathodoluminescence을 이용하여 미세한 영역의 물성 평가, 구조의 관찰, 와이드 간격, 재료 등의 결함 불순 평가 등 다양한 평가가 이루어집니다. 또한 전자 현미경과 결합하여 나노 영역의 미세한 영역의 평가가 가능합니다.
용도
- • 반도체 등의 불순물 결함 평가
- • 응력 분포 평가
- • 산화막의 결함 구조 분포 평가
- • 발광 소자 평가
- • 전자 장치의 기초 재료 평가
- • 장치의 특성 분석
- • 3차원적인 양자 구조의 평가
Cathodeluminescence MP-32S/M은 thermal 타입의 필드 에미션SEM을 사용하고 지금까지 불가능했던 미시영역에 있어서의 높은 분해능을 실현 sub Micron의 벽을 돌파했습니다.
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