컴팩트 프로세스가스모니터 MICROPOLE System

잔류 가스 분석계 MICROPOLE System

잔류 가스 분석계 MICROPOLETMSystem은, 반도체나 액정 Panel, 태양전지등 진공 chamber의 전압 및 잔류하고 있는 가스의 분압을 계측할 수 있는 질량 분석계입니다. 질량 검출부에는 9개의 사중극부로 구성해, 「세계 최소 클래스 사이즈」, 「경량화」, 「고압화」를 실현 하였습니다. 이러한 기술 개발로 설치시 요구되는 스페이스도 작으며,...