잔류 가스 분석계 MICROPOLE System
잔류 가스 분석계 MICROPOLETMSystem는, 반도체나 액정 파넬, 태양전지등을 성막 하는 진공 chamber의 전압 및 잔류하고 있는 가스의 분압을 계측할 수 있는 질량 분석계입니다.질량 검출부에는 9개의 사중극부에서 구성해, 「세계 최소 클래스의 사이즈」, 「경량화」, 「고압화」를 실현하고 있습니다.이 때문에, 설치 스페이스도 작고, 설치도...
