FPD Process

초순수 분석(Wet공정)

고감도 Silica Monitor SLIA-300

최고 감도 0.01μg/L (0.01ppb)로, 저농도의 Silica의 측정요구에 완벽이 대응합니다.

재료분석 (파티클 분석&결함 분석)

XGT-7200

포인트 분석과 자동화된 최신형 mapping.

2가지 방식의 vacuum적용.

X선관 직경 1.2 mm 에서 10 µm까지.

GD-Profiler

Serve nm order의 분석이 가능한 GDS신제품이 출시 되었습니다.

GDS(GD-OES)분석 장치는 신속하고 간단한 표면분석 깊이 방향원소분석 장치로서 도금·열처리·표면처리·코팅등의 연구 개발이나 막 품질 평가에 있어서 폭넓게 활용되어 있습니다. 고주파방식 글로우(glow) 방전을 채용하고 있기 때문에 비전기 전도성 실험자료에서도 표면분석이 가능합니다.

LabRAM HR Evolution Raman Microscope

현존하는 라만 레이저 중 최고 사양을 자랑하는 LabRAM HR Series.

 

화학 분석 (Wet공정)

Fiber Optic Type Chemical Concentration Monitor CS-100F1 Series

인라인 멀티 모니터링. multi-bath, single-bate 및 single wafer세척 시스템 지원.

Standard Clean 1 (SC-1) chemical concentration monitor image

SC-1모니터 CS-131 컴팩트하고 고속응답속도를 보이는 약액농도 모니터

SPM Monitor image

CS-150은, 반도체 세정 공정에 쓰이는  SPM 농도 모니터입니다. 기존 제품과는 차별화 된 고속응답성과 장비의 소형화를 실현. registration박리나 유기물의 제거에 사용되는 SPM용액(H2SO4/H2O2/H2O)의 각 성분농도를 실시간으로 측정하고, 알람기능으로 자동보급하는 타이밍을 알려드립니다. 고속응답, 짧은 측정 주기의 실현으로 농도변화에 대하여도 충실하게 대응하고,또 컴팩트한...

BHF monitor image

CS-137은 반도체 공정중 wet etching에서 실시간은로 BHF농도의 모니터링을 제공합니다.

CS-153N HF/HNO3 Monitor

반도체 wet-etching공정에서 HF/HNO3용액의 농도를 24시간 실시간 모니터링

FPM Monitor / CS-153

CS-153은, 반도체【WET-ETCHING Process】의 엄격한 니즈에 대응하기 위해서 개발된 고정밀도인 약액농도 모니터입니다. 산화막과 함께 금속불순물을 제거하기 위해서 사용되는 FPM용액(HF/H2O2/H2O)의 각 성분농도를 실시간으로 측정하고, 알람에서 시약교환이나 자동보급하는 타이밍을 알립니다. 이것에 의해 FPM용액의 농도를 허용 범위에 유지하는 동시에 쓸데 없는 시약교환을 없앨 수...

CS Series Monitors

초고속 응답과 컴팩트를 갖추고 있어 이상적인 TMAH/H2O2농도 모니터링이 가능합니다.

Hydrofluoric Acid Monitor CM-200A/210A

반도체 제조공정에서 HF모니터링

In-line type Dissolved Ozone Monitor OZ-96i

반도체 생산공정에서 오존 농도관리에 최적

Dissolved Ozone Monitor OZ-96

기술의 발전으로 오존수가 반도체 세척 공정과  resist separation공정에서 쓰이고 있습니다. 용존 오존농도모니터OZ-96은 저농도에서부터 고농도까지의 넓은 범위의 측정이 가능합니다.

Digital Liquid Mass Flow Meters/Controllers LF-F/LV-F series

반도체 디바이스의 고속·고밀도화에 따라, 디바이스 구조의 미세화 뿐만 아니라 재료의 이동에 의한 대응이나 생산성 향상을 목표로 해 300 mm 웨이퍼 프로세스의 도입을 하고 있습니다.이 동향에 따라, 반도체 프로세스에 이용되는“액체 재료”에서도 다양화와 대 유량화가 진행되고 있습니다. 폐사의 액체 재료 기화 시스템은 프로세스에 따라 액체 재료 기화 디바이스(Injection 방식, Baking 방식)와 액체...

HF/HCl Concentration Monitor HF-960H

[NEW] 고농도의 불산, 염산 측정에 가장 이상적입니다.

Low Concentration HF/HCl/NH3 Monitor HF-960M

HF-960M은 내구성이 우수한 센서를 사용하여 저농도의 불산,염산,암모니아를 정밀하게 측정합니다.

Carbon Sensor Resistivity Meter HE-960R-GC(W)

세정 시스템과, 내약품성이 우수한 카본 센서 비저항계입니다. 세계최초의 카본센서 비저항계로 기존 GC-96R의 다음 모델입니다. 48/96시리즈의 기종 중 하나로 카본센서 사용으로 다양한 샘플을 측정할 수 있습니다.

2-channel Carbon Sensor Resistivity Meter HE-960RW-GC(W)

2가지 샘플의 비저항을 동시 측정,동시 출력하고 내약품성이 우수한 센서를 사용하여 정밀한 측정을 합니다.

Industrial Resistivity Meter HE-480R

공업용 비저항계 HE-480R은 고정밀도 온도보상 기능을 탑재한 비저항계입니다.

반도체분야를 비롯해 전자·식품·의약품등의 분야의 제조공정에서 사용되는 초순수의 연속 모니터링에 최적입니다.

 

Wide range TMAH Concentration Monitor HE-960H-TM

[New]

TMAH농도관리에 최적!

Carbon Sensor Conductivity Meter (Low concentration type) HE-480C-GC

Carbon sensor compact conductivity meter for low concentration. Measurement range: 0 - 9999 μS/cm (Sensor FS-07F), 0 - 999 μS/cm (Sensor ESH-01-L-GC5), 0 - 9999 μS/cm (Sensor ESH-1-L-GC9).

Carbon Sensor Conductivity Meter (High concentration type) HE-960HC

반도체 제조나 FPD제조 공정의 물약,배액관리에 사용할 수 있습니다. 4극식 카본센서를 사용해서 0~1000mS/cm레인지를 측정합니다. 또 2가지의 농도 환산 기능이 있으며 특정 약품의 농도 변화에 대한 모니터링이 가능하고 process농도계로도 사용할 수 있습니다.

가스 제어/분석 (Dry공정)

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

For various industries. Wide range of communication, Digital/Analog, DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™ and EtherCAT®. Wide control range from 10 SCCM to 1000 SLM. All-metal.

Automatic pressure regulators

각종 프로세스의 라인 압력 제어에 최적압력 제어 설정 신호의 입력에 의해 라인 압력의 원격 조정이 가능고성능 압력 센서와 Piezo Valve를 내장UItra Clean 대응의 프로세스 라인에 최적

 

Compact Baking System LSC Series

TEOS를 시작으로 한 액체 재료의 기화 시스템으로, 다수의 납입 실적을 자랑하는 LSC 시리즈에 대유량 발생을 실현시킨 신모델입니다.종래와 같이  캐리어 가스를 이용하지 않고 액체 재료의 안정 기화를 행하는 신형의 LSC-A100 시리즈는, Compact Size면서 대유량 의 기화 발생을 가능하게 한 모델입니다.

 

Direct Injection System VC Series

반도체 Device의 고속·고밀도화에 따라, 디바이스 구조의 미세화 뿐만 아니라 재료의 치환에 의한 대응이나 생산성 향상을 목표로 300 mm웨이퍼 프로세스의 도입을 하고 있습니다.이 동향에 따라, 반도체 프로세스에 이용되는“액체 재료”에 있어 다양화와 대유량화가 진행되고 있습니다. 폐사의 액체 재료 기화 시스템은 프로세스에 응한 액체 재료 기화 디바이스(인젝션 방식, 베이킹 방식)와 액체 재료 실린더로부터...

Liquid Auto Refill System LU Series

액체 재료를 베이킹 시스템(LSC 시리즈), 인젝션 시스템(MI, MV, VC시리즈)에“자동적으로”“안전하게”“헛됨 없게”공급 가능한 액체 재료의 Refill System 입니다.

안전 규격:SEMI S2.S8.S14.CE Marking을 모두 Clear 해, Operate Miss 대책으로서 위험이 수반하는 탱크 교환시의 잔액제거 Sequence의 자동화도 표준 탑재하고 있습니다.또 점검 성의 고효율화를...

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

반도체제조장비의 주요 부품 Mass Flow Controller. 그 성능, 품질은 반도체 품질 자체에 영향을 주는 정도로 중요한 역할을 담당하고 있습니다.그런 엄격한 업계에 있어 고품질로 기능성을 높인 제품을 계속해서 시장에 투입하고, 세계 30%이상을 자랑하고 있는 호리바에스텍이기 때문에 종래의 개념을 깨뜨린 완전히 새로운 종류의 Mass Flow Controller 가 탄생했습니다. 이제까지 가스의...

Mixed Injection System Liquid Vaporizers

반도체 Device의 고속·고밀도화에 따라, 디바이스 구조의 미세화 뿐만 아니라 재료의 치환에 의한 대응이나 생산성 향상을 목표로  300 mm웨이퍼 프로세스의 도입을 하고 있습니다.이 동향에 따라, 반도체 프로세스에 이용되는“액체 재료”에 있어 다양화와 대유량화가 진행되고 있습니다. 폐사의 액체 재료 기화 시스템은 프로세스에 응한 액체 재료 기화 디바이스(인젝션 방식, 베이킹 방식)와 액체 재료...

공정 모니터링 (Dry공정)

컴팩트 프로세스가스모니터 MICROPOLE System

잔류 가스 분석계 MICROPOLE System

잔류 가스 분석계 MICROPOLETMSystem은, 반도체나 액정 Panel, 태양전지등 진공 chamber의 전압 및 잔류하고 있는 가스의 분압을 계측할 수 있는 질량 분석계입니다. 질량 검출부에는 9개의 사중극부로 구성해, 「세계 최소 클래스 사이즈」, 「경량화」, 「고압화」를 실현 하였습니다. 이러한 기술 개발로 설치시 요구되는 스페이스도 작으며,...

Plasma 공정 제어

Real Time Interferometric Process Monitor LEM-CT-670-G50

두종류의 레이저로, SiN, SiO2, GaAs, InP, AlGaAs, GaN등이 폭넓은 막질에 대응이 가능 합니다.간섭식 실시간 막두께 모니터는 Etching/성장의 프로세스중에 막의두께 및 Etching 깊이를 고정밀도로 검출합니다. 시료 표면에 닿는 단색광은 박막의 두께나 단차에 대한 optical path lengths차이에 의해 간섭을 일으킵니다. 시간에 따라 간섭 강도의 변화를 모니터 하는...

Real Time Interferometric Process Monitor DIGILEM-CPM-Xe/Halogen

GaN、AlGaN、SiO2、SiN등의 얇고 투명도가 높은 박막 분석에 최적입니다.간섭식 실시간 두께 모니터는 Etching/성막의 프로세스중에 막두께, Etching 깊이를 고정밀도로 검출합니다. 시료 표면에 비춰진 단색광은 박막의 두께나 단차로 인한 optical path lengths차이에 의해 간섭을 일으킵니다. 간섭 강도의 시간 변화를 모니터 하는 것으로, 그 주기에 의해 모니터 장소의...

Optical Emission Spectroscopy Etching End-point Monitor EV-140C

플라스마를 이용한 반도체 공정에서 End Point의 검출 또는 플라스마의 상태를 관리하기 위한, 발광 분석 방식의 End Point 모니터입니다.신개발된 알고리즘“Rupture Intensity”에 의해 미약한 신호 변화로부터 정확하게 End Point를 검출할 수 있습니다.미약한 신호 변화를 파악할 수 있는, 높은 감도와 노이즈에 강한 내구성으로, 24시간 가동하는 제조 라인의 가혹한 환경에서도 안정된...

폐수 분석

HP-480 the industrial ph meter

공업용 pH측정기 HP-480은 사용 빈도가 높은 기능을 중심으로 구성된 pH측정기 입니다. 각종 공업 분야에서 제조공정의 감시, 품질검사, 수산, 양식까지 폭넓은 용도로 사용됩니다.

박막 분석

UVISEL Plus

분광 위상 변조 Ellipsometer (SPME)  UVISEL 는 어떤 기계적인 운동도 없이 편광을 변조하기 위하여 photoelastic 장치를 내장한 system입니다. 위상 변조 기술은 실험적으로 다양성과 성능면에서 중요한 이점을 제공합니다. 전통적인 ellipsometers와 비교해서 UVISEL 분광 ellipsometer는 얇은 박막 Sample과 낮은 인덱스...