Optimize processes and increase cell supply stability and conversion efficiency and reduce waste through real-time monitoring of chemical solution concentrations.

HORIBA’s chemical solution concentration monitors support the optimization of solar cell manufacturing processes through real-time measurement of chemical solution concentrations in cleaning and etching processes. This enables greater accuracy in chemical-based texture formation and the removal of impurities, contributing dramatically to improved conversion efficiency in crystalline silicon solar cells.


Fiber Optic Type Chemical Concentration Monitor CS-100F1 Series

인라인 멀티 모니터링. multi-bath, single-bate 및 single wafer세척 시스템 지원.

Chemical Solution Concentration Monitor CS-100 Series

Chemicals soulution concentration monitor has a compact profile, support for multi-bath, single-bath, and dingle-wafer cleaning systems

Hydrofluoric Acid Monitor CM-200A/210A

반도체 제조공정에서 HF모니터링

HF/HCl Concentration Monitor HF-960H

[NEW] 고농도의 불산, 염산 측정에 가장 이상적입니다.

Low Concentration HF/HCl/NH3 Monitor HF-960M

HF-960M은 내구성이 우수한 센서를 사용하여 저농도의 불산,염산,암모니아를 정밀하게 측정합니다.

Carbon Sensor Conductivity Meter (High concentration type) HE-960HC

반도체 제조나 FPD제조 공정의 물약,배액관리에 사용할 수 있습니다. 4극식 카본센서를 사용해서 0~1000mS/cm레인지를 측정합니다. 또 2가지의 농도 환산 기능이 있으며 특정 약품의 농도 변화에 대한 모니터링이 가능하고 process농도계로도 사용할 수 있습니다.

Industrial Resistivity Meter HE-480R

공업용 비저항계 HE-480R은 고정밀도 온도보상 기능을 탑재한 비저항계입니다.

반도체분야를 비롯해 전자·식품·의약품등의 분야의 제조공정에서 사용되는 초순수의 연속 모니터링에 최적입니다.