가스 제어/분석/공정 모니터링
Controlling flow, pressure, and chemical concentration with world-class fluid control technologies.
HORIBA offers a wide range of accurate and repeatable flow, pressure, and concentration control components which are essential to the development and manufacture of solar cell technologies. HORIBA’s products contribute greatly to improved yield and quality enabling better control over conversion efficiency.
반도체제조장비의 주요 부품 Mass Flow Controller. 그 성능, 품질은 반도체 품질 자체에 영향을 주는 정도로 중요한 역할을 담당하고 있습니다.그런 엄격한 업계에 있어 고품질로 기능성을 높인 제품을 계속해서 시장에 투입하고, 세계 30%이상을 자랑하고 있는 호리바에스텍이기 때문에 종래의 개념을 깨뜨린 완전히 새로운 종류의 Mass Flow Controller 가 탄생했습니다. 이제까지 가스의...
MARK3시리즈는 Mass Flow Controller에 필요한 품질을 변형하지 않고 가격 인하의 가능성을 철저히 추구한 대량생산 모델입니다. 주용도에는 프로세스용의 가스 유량 제어를 가정하여 재현성에 중점을 둔 조정과 가스의 종류, 유량을 한정해 양산하는 것으로써, 대폭적인 가격인하를 실현하였습니다. 정 유량, 장기간의 안정제어와 반복제어용으로 최적입니다. 또 연구실용의 연속유량제어용으로도...
각종 프로세스의 라인 압력 제어에 최적압력 제어 설정 신호의 입력에 의해 라인 압력의 원격 조정이 가능고성능 압력 센서와 Piezo Valve를 내장UItra Clean 대응의 프로세스 라인에...
반도체 Device의 고속·고밀도화에 따라, 디바이스 구조의 미세화 뿐만 아니라 재료의 치환에 의한 대응이나 생산성 향상을 목표로 300 mm웨이퍼 프로세스의 도입을 하고 있습니다.이 동향에 따라, 반도체 프로세스에 이용되는“액체 재료”에 있어 다양화와 대유량화가 진행되고 있습니다. 폐사의 액체 재료 기화 시스템은 프로세스에 응한 액체 재료 기화 디바이스(인젝션 방식, 베이킹 방식)와 액체 재료...
액체 재료를 베이킹 시스템(LSC 시리즈), 인젝션 시스템(MI, MV, VC시리즈)에“자동적으로”“안전하게”“헛됨 없게”공급 가능한 액체 재료의 Refill System 입니다.
안전 규격：SEMI S2.S8.S14.CE Marking을 모두 Clear 해, Operate Miss 대책으로서 위험이 수반하는 탱크 교환시의 잔액제거 Sequence의 자동화도 표준 탑재하고 있습니다.또 점검 성의 고효율화를...
잔류 가스 분석계 MICROPOLE System
잔류 가스 분석계 MICROPOLETMSystem는, 반도체나 액정 파넬, 태양전지등을 성막 하는 진공 chamber의 전압 및 잔류하고 있는 가스의 분압을 계측할 수 있는 질량 분석계입니다.질량 검출부에는 9개의 사중극부에서 구성해, 「세계 최소 클래스의 사이즈」, 「경량화」, 「고압화」를 실현하고 있습니다.이 때문에, 설치 스페이스도 작고, 설치도...
분석 용도를 한층 더 넓히는 Compact Size. FG-100 A시리즈는, 지구 온난화 방지를 위해 삭감이 요구되는 온실 효과 가스, PFCs를 시작해 각종 반도체•FPD 프로세스 가스등이 다양한 분석을 가능하게 한 FTIR 가스 분석계입니다. 현장에서의 효율적인 가스 계측을 추구하고, 대폭적인 컴팩트화를 실현하는 것과 동시에 Single Cell Type와 Dual Cell Type의 2 종류를...