Chemical Analysis (Wet Process) Front-end Process
Fiber Optic Type Chemical Concentration Monitor CS-100F1 Series

인라인 멀티 모니터링. multi-bath, single-bate 및 single wafer세척 시스템 지원.

Standard Clean 1 (SC-1) chemical concentration monitor image

SC-1모니터 CS-131 컴팩트하고 고속응답속도를 보이는 약액농도 모니터

Appearance of CS-152, SC-2 monitor

고속 응답 속도와 컴팩트한 설계는 SC-2용액 농도 모니터를 웨이퍼와 배치타입 세정공정에서 가장 이상적인 선택으로 만듭니다.

SPM Monitor image

CS-150은, 반도체 세정 공정에 쓰이는  SPM 농도 모니터입니다. 기존 제품과는 차별화 된 고속응답성과 장비의 소형화를 실현. registration박리나 유기물의 제거에 사용되는 SPM용액(H2SO4/H2O2/H2O)의 각 성분농도를 실시간으로 측정하고, 알람기능으로 자동보급하는 타이밍을 알려드립니다. 고속응답, 짧은 측정 주기의 실현으로 농도변화에 대하여도 충실하게 대응하고,또 컴팩트한...

BHF monitor image

CS-137은 반도체 공정중 wet etching에서 실시간은로 BHF농도의 모니터링을 제공합니다.

CS-153N HF/HNO3 Monitor

반도체 wet-etching공정에서 HF/HNO3용액의 농도를 24시간 실시간 모니터링

FPM Monitor / CS-153

CS-153은, 반도체【WET-ETCHING Process】의 엄격한 니즈에 대응하기 위해서 개발된 고정밀도인 약액농도 모니터입니다. 산화막과 함께 금속불순물을 제거하기 위해서 사용되는 FPM용액(HF/H2O2/H2O)의 각 성분농도를 실시간으로 측정하고, 알람에서 시약교환이나 자동보급하는 타이밍을 알립니다. 이것에 의해 FPM용액의 농도를 허용 범위에 유지하는 동시에 쓸데 없는 시약교환을 없앨 수...

CS Series Monitors

초고속 응답과 컴팩트를 갖추고 있어 이상적인 TMAH/H2O2농도 모니터링이 가능합니다.

Hydrofluoric Acid Monitor CM-200A/210A

반도체 제조공정에서 HF모니터링

In-line type Dissolved Ozone Monitor OZ-96i

반도체 생산공정에서 오존 농도관리에 최적

Dissolved Ozone Monitor OZ-96

기술의 발전으로 오존수가 반도체 세척 공정과  resist separation공정에서 쓰이고 있습니다. 용존 오존농도모니터OZ-96은 저농도에서부터 고농도까지의 넓은 범위의 측정이 가능합니다.

Digital Liquid Mass Flow Meters/Controllers LF-F/LV-F series

반도체 디바이스의 고속·고밀도화에 따라, 디바이스 구조의 미세화 뿐만 아니라 재료의 이동에 의한 대응이나 생산성 향상을 목표로 해 300 mm 웨이퍼 프로세스의 도입을 하고 있습니다.이 동향에 따라, 반도체 프로세스에 이용되는“액체 재료”에서도 다양화와 대 유량화가 진행되고 있습니다. 폐사의 액체 재료 기화 시스템은 프로세스에 따라 액체 재료 기화 디바이스(Injection 방식, Baking 방식)와 액체...

2-channel Carbon Sensor Resistivity Meter HE-960RW-GC(W)

2가지 샘플의 비저항을 동시 측정,동시 출력하고 내약품성이 우수한 센서를 사용하여 정밀한 측정을 합니다.

Carbon Sensor Resistivity Meter HE-960R-GC(W)

세정 시스템과, 내약품성이 우수한 카본 센서 비저항계입니다. 세계최초의 카본센서 비저항계로 기존 GC-96R의 다음 모델입니다. 48/96시리즈의 기종 중 하나로 카본센서 사용으로 다양한 샘플을 측정할 수 있습니다.

Industrial Resistivity Meter HE-480R

공업용 비저항계 HE-480R은 고정밀도 온도보상 기능을 탑재한 비저항계입니다.

반도체분야를 비롯해 전자·식품·의약품등의 분야의 제조공정에서 사용되는 초순수의 연속 모니터링에 최적입니다.

 

Industrial conductivity meter HE-480C

공업용 전도도 측정기 HE-480C는 2전극법을 사용하여 저농도를 측정합니다. 온도 보상 성능이 높고 반도체의 순수관리부터 보일러수의 수질관리까지 폭넓게 사용합니다.

TMAH Conductivity Meter HE-960TM

TMAH용 전기전도도계 HE-960TM은, 반도체·액정 프로세스에서 이용할 수 있는 photoresist 현상액의 주성분인 TMAH (Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)용액의 전기 전도도를 고정밀도로 측정합니다.

Low Concentration HF/HCl/NH3 Monitor HF-960M

HF-960M은 내구성이 우수한 센서를 사용하여 저농도의 불산,염산,암모니아를 정밀하게 측정합니다.