HF/HNO3 모니터, CS-153N

개요

CS-153N은 반도체 wet-etching공정의 까다로운 규정에 대응하기 위해서 개발된 고정밀도 약액농도 모니터입니다. 실리콘 산화 막의 에칭을 위해서 사용되는 HNO3/HF용액(HNO3/HF/H2O)의 각각의 성분 농도를 실시간으로 측정하고, 알람기능으로 용액교환이나 자동보급하는 타이밍을 알립니다. 이것에 의해 HNO3/HF용액의 농도를 허용 범위로 유지하는 동시에 쓸데 없는 용액교환을 없앨 수 있습니다.

기능

  • 약 3초의 측정 주기로 300mm 프로세스의 농도관리를 지원.
    약 3초의 짧은 측정 주기를 실현. 실시간 농도추적성을 대폭 향상했습니다. multibus는 물론, onebus 방식의 세정 장치가 세심한 농도관리를 지원합니다.
  • 컴팩트 설계에 의해 세정 장치의 공간절약화에 공헌.
    종래대비 약 2/3(*)의 컴팩트한 설계에 의해 세정 장치의 공간절약화에 공헌. 용이하게 세정 장치를 설치할 수 있습니다.
    *당사제품CS-300시리즈와의 비교.
  • 세정 공정에서의 로트 불량감소에 의해 효율 향상.
    모니터 출력을 이용해서 HNO3/HF용액의 보급 제어를 행하기 때문에, 재현성이 높은 세정을 실현. 세정 공정에서의 로트 불량을 감소시켜, 효율 향상에 공헌합니다.
  • 풀 오토 측정으로, 간단한 관리를 실현.
    사용자는 HNO3/HF용액을 도입하는 것 뿐입니다. 측정은 풀 오토이므로, 측정시작후의 제어는 일체 불필요합니다.
  • 확실한 버블대책으로, 연속 측정이 가능.
    거품제거기능을 내장하고, 플로우 셀 직전에서 거품을 분리하기 위해서, 액을 유실시킨 상태에서의 연속 측정이 가능하게 되었습니다.
  • DC24V를 채용하고, 높은 안전성을 실현.
    전원은, 저전압DC24V를 채용하고, 감전에 대한 안전성을 한층 더 향상시켰습니다. 또 누수 센서 내장에 의해 누수 발생시에 HNO3/HF용액공급 차단등의 긴급대응을 가능하게 하고 있습니다.

제조원 HORIBA Advanced Techno

사양

Model specifications

CS-153N: No cooling unit

CS-153NC: Integrated cooling unit

Measurement sample

HF/HNO3(HF/HNO3solution)

Measurement principle

Absorption spectrometry

Concentration computation principle

Temperature-compensated multivariate analysis

Measurement range

HNO3: 57.0 to 65.0%

HF: 3.00 to 8.00%

H2O: 27.0 to 40.0%

Please consult HORIBA for information concerning other measurement ranges.

Reproducibility (Peak to peak)

HNO3:  ± 0.3%

HF: ± 0.25%

H2O: ± 0.5%

Chemical conditions

CS-153N:

Temperature: 20 to 30°C

Flow rate: 20 to 60 mL/min.

Pressure: 0.10 to 0.20 MPa

CS-153NC:

Temperature: 20 to 80°C

Flow rate: 20 to 40 mL/min.

Pressure: 0.10 to 0.20 MPa

Measurement cycle

Approx. 2 seconds minimum

(not including chemical replacement and cooling times)

Equipment temperature

20 to 25

Operation panel

1) Temperature level display:  HNO3, HF: , water

2) Alarm display: HNO3, HF: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit

3) Alarm value settings:  HNO3, HF: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit

Serial input/output

RS-232C

1) Concentration data:  HNO3, HF

2) Alarm value settings:  HNO3, HF:  Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit Parallel input 12 to 30 V DC (photocoupler insulated) Parallel concentration alarm (ON/OFF)

Parallel output

Maximum current when open collector output is ON: 5 mA

Maximum voltage when open collector output is OFF: 30 V

1) Alarm output:  HNO3, HF: Concentration low-low limit, concentration low limit, concentration high limit, concentration high-high limit

2) Device error

3) Liquid leakage

Analog output

4 to 20 mA (2 outputs:  HNO3 concentration, HF concentration) *Regardless of the range specifications, the output of 4 ~ 20 mA can be made to correspond to 0 ~ 10% concentrations.

(Please specify when ordering.)

Power supply

24 V DC ± 10%, 2 A

Dimensions

CS-153N: 205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm

CS-153NC: 291 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm

Weight

CS-153N: Approx. 11 kg

CS-153NC: Approx. 12 kg

Connection pipe size

For input and exhaust: Outer diameter 3 mm (inner diameter 2 mm)

Pipe connection

Nippon Pillar Super type