고감도 Slilica monitor SLIA-300

개요

최고 감도 0.01μg/L (0.01ppb)로, 저농도의 Silica의 측정요구에 완벽히 대응합니다.
반도체 제조 프로세스에서 사용되는 초순수는 이온교환 수지를 사용하여 고순도로 정제합니다. 이 이온교환 수지에 의해 용출되는 실리카를 재빨리 잡아내어, 제조공정에 중요한 초순수를 관리 할 수 있습니다.
HORIBA Advanced Techno(HAT)는 저농도의 Silica를 고감도로 측정하기 위해 "long light path length measurement cell"을 개발하여 적용하였습니다. 그리고, 제품의 소형화로 어느 장소에서든 설치할 수 있도록 설계하였습니다. 

기능

  • 감도 향상 및 우수한 반복성
    초저농도에 대응하는 고감도화를 실현하기 위해서 광섬유 기술을 응용, 약 1m의 긴 광학경로를 확보했습니다. 5분마다 반복 측정시 0∼2μg/L범위에 있어서, 전체범위에서 ±2%의 반복성을 보증하고 있습니다. 
  • 소형화 설계로 탁상화 실현!
    호리바가 설계한 특별한 광학경로로 획기적인 장비의 소형화를 실현. 탁상식이므로 작은 공간을  비롯해 여러가지 설치 조건에 대응가능합니다. 이동식으로도 설치가 가능합니다.
  • 시약의 소비량을 1/5로
    시약의 소비량을 종래의 1/5로 줄이기위해, 반응 셀을 측정 셀과 분리시켜 튜브형으로 개량했습니다. 긴 광학경로를 가진 측정 셀을 적용하여 장비의 유지 비용을 대폭 감소시켰습니다.
  • 샘플의 소비량을 1/2이하로 저감
    시약뿐만 아니라, 샘플의 소비량도 저감시켰습니다. 긴 광학경로를 가진 측정 셀의 적용으로 초순수의 소비량을 종래대비 60% 저감. Horiba Advanced Techon의 실리카 모니터는 현장 유지비용저감에도 공헌합니다.
  • 동작 이상을 감시하는 자기진단기능
    자동교정에 의해, 뛰어난 보수성을 실현
  • 최대 6point까지 측정이 가능(옵션)
  • 교환이 불필요한 반 영구적 광원을 적용

제조원 HORIBA Advanced Techno

사양

모델명

SLIA-300

측정원리

Molybdic blue absorptiometry

측정범위

0 to 2/0 to 20 µg/L, or 0 to 5/0 to 50 µg/L (please specify when placing an order)

측정시간

5 분

측정 포인트

1 ~ 6 points (주문 선택 사양입니다.)

재현성

± 2% of full scale

검량선 기능

Standard fluid calibration

Compensation 기능

Blank compensation
Metage line compensation (Specific to each line)

사용되는 시약

· Reagent A: sulfuric acid + ammonium molybdate
· Reagent B: oxalic acid
· Reagent C: L (+)- ascorbic acid

시약 교체주기

One week (according to the recommended period of our company)

전원

100 ~ 240V AC 50/60 Hz

최대 소비전력

약 600 VA

설치조건

실내,  온도 10~35°C, 습도 85% 또는 이하

샘플조건

· 물 온도 : 15 ~ 35°C
· 공급 유량 : 250 ~ 300 mL/min 
· 압력: 0.1 ~ 0.5 MPa

크기

580 (W) x 375 (H) x 500 (D) mm

무게

One-point measurement: approx. 41kg (plus 1kg for an additional measurement point)

External I/O

Density output

4 ~ 20 mA DC/0 ~ 16 mA DC/0 ~ 1 V DC (주문시 결정합니다.)

Contact output

· Common to all lines:
During measurement, synchronous signals, alarms (batch), heaters, power off, calibration signals 1 and 2, density upper limit warning, or sample water off.
· Specific to each line:
Measurement range, density upper limit warning, or sample water off (the density limit warning or the sample water off batch or respective line alarm should be specified when placing an order. The alarm contents should be also selected when placing the order.)

Contact input

· Common to all lines:Calibration start, measurement start, cost-efficient operation, line selection, measurement low range, measurement high range

Serial I/O

RS-232C

Applicable standard

CE mark, FCC Part 15

Option

Sample water heating unit, standard fluid supply unit, reagent blending tools