Liquid Auto Refill System

개요

액체 재료를 베이킹 시스템(LSC 시리즈), 인젝션 시스템(MI, MV, VC시리즈)에“자동적으로”“안전하게”“헛됨 없게”공급 가능한 액체 재료의 Refill System 입니다.

안전 규격:SEMI S2.S8.S14.CE Marking을 모두 Clear 해, Operate Miss 대책으로서 위험이 수반하는 탱크 교환시의 잔액제거 Sequence의 자동화도 표준 탑재하고 있습니다.또 점검 성의 고효율화를 실시해 throughput 향상의 제안을 실시할 수 있는 모델입니다.

 

기능

마더 탱크 교환시의 안전성을 확인하는 「증기압 감시에 의한 잔액모니터 기능」을 표준 탑재
※특허 출원중
로드 셀에 의한 마더 탱크내의 잔재료 중량의 감시가 가능                                                                                                                                                                   ※옵션
Compact Size, 점검 성의 향상을 도모한 디자인을 채용
탈기Module을 표준 탑재해, 인젝션 방식이나 베이킹 방식등 여러가지 기화 시스템에의 공급이 가능
풍부한 제작 실적을 베이스로, 코스트 밸류를 실현한 신형 모델
안전 규격:SEMI S2/S8/S14, CE마킹 대응
조작성의 향상:순서의 자동화에 의한 Miss Operate 방지 기능, 전면 터치 패널에 의한 간단한 조작.
안전성의 향상:각종 모니터링 디바이스에 의한 Total 컨트롤화와 이상 발생시의 긴급 자동 정지 기능을 장비.|
배관 Dead Volume을 극소화:집적 가스 시스템을 채용.
복수대의 베이킹 시스템, 인젝션 시스템에 자동 공급이 가능.
최적 플로우를 채용
고효율 라인 퍼지 성능-탱크 교환 시간을 단축

마더 탱크 교환시의 배관 내부(탱크 밸브 라인 밸브)에 잔류하는 액체 재료를 마더 탱크로 돌려 보냅니다.그리고 배관내에 미량에 잔류하고 있는 액체 재료를 효율 좋게, 확실히 없애기 위해서 심플한 가스계를 채용해 퍼지 효율을 향상시킴과 동시에, 잔액의 증기압을 확인하는 신기능:재료 잔류 모니터를 표준 탑재하고 있습니다.

증기압 감시 모니터 기능이란(특허 출원중)
배관내에 잔류하고 있는 액체 재료의 제거에는 Cycle Purge를 베풀어 제거됩니다만, 액체 재료의 잔류 농도가 「TLV치」를 밑돈 상태인지 아닌지의 판단은, 종래 경험적으로 축적된, 고객의 노하우로서 판단되고 있었습니다.신형 LUA1000 시리즈에 탑재하고 있는 「재료 잔류 모니터 기능」은, 배관내에 잔류하는 액체 재료나 잔류 가스 상태를 고성능인 증기압 모니터로, 배관내 상태를 감시합니다.본체에 탑재하고 있는 안전 감시 회로에 의해, 탱크 교환의 타이밍을 표시시켜, 최적 시간을 오퍼레이터에게 알림과 동시에 안전성을 향상시키는 기능입니다.

 


제조원 HORIBA STEC

사양

Model

LU-A1000 series

Liquids supported

TEOS, TMOB, TMOP, TEOP, BTBAS

Supply method

Pressure movement from He gas

Gas supply pressure

For pressure movement: 0.3 to 0.6 MPa (G); For purge: 0.3 to 0.6 MPa (G), OP N2 0.6 to 0.7 MPa (G)

Tank

Maximum 5-gallon container can be attached (outside of production range)

Operation

Automatic supply/stop using external signal from supply system

Operation area display details

Pressure error display; When an alarm is triggered: Display hold function (manual reset); Liquid level display; Sequence, etc.

Gas connection

Refer to basic flow

Power source

AC 100 to 240 V, 50/60 Hz, 300 VA

Electricity connection

AC 100 to 240 V breaker connection, signal receptacle

External dimensions

See external dimensions diagram

* Please make decisions regarding the specifications above after meeting with STEC.

외형도

Dimensions of LU-A1000 Series
System Examples of LU-A1000 Series
Flow Schematic of LU-A1000 Series