SEM에 설치하여 Cathodoluminescence를 간단하게 측정가능.
Cathodeluminescence MP-32S/M은 thermal 타입의 필드 에미션SEM을 사용하고 지금까지 불가능했던 미시영역에 있어서의 높은 분해능을 실현 sub Micron의 벽을 돌파했습니다.
