유량 제어기
Mass Flow Controller 전후에 압력변동이 발생하더라도 안정된 유량제어를 할 수 있습니다. 멀티 챔버의 가스 라인은, 압력변동에 따른 Mass Flow Controller의 크로스토크 현상이 발생하기 쉽기 때문에 라인 Regulator, 압력 Sensor, Filter 가 장착되어 있습니다. 신형 Mass Flow Meter SEC-Z700 series, Criterion D200 Series는...
반도체제조장비의 주요 부품 Mass Flow Controller. 그 성능, 품질은 반도체 품질 자체에 영향을 주는 정도로 중요한 역할을 담당하고 있습니다.그런 엄격한 업계에 있어 고품질로 기능성을 높인 제품을 계속해서 시장에 투입하고, 세계 30%이상을 자랑하고 있는 호리바에스텍이기 때문에 종래의 개념을 깨뜨린 완전히 새로운 종류의 Mass Flow Controller 가 탄생했습니다. 이제까지 가스의...
SEC-8000F/D series 는 종래의 고온환경대응Mass Flow Controller의 Digital 제어회로를 탑재한 모델입니다. Digital Network의 실현함과 동시에 지능화 가스Valve의 구축, 배선감소에 따른 소형화한 가스 판넬의 구축 등 다양한 기체 및 액체 시스템이 구축 가능해 졌습니다. 또 종래 제품의 성능 향상 및 폭넓은 프로세스에 대응하고 있습니다....
생산성향상의 요인으로, 제조설비의 고성능화와 소형화. 저렴한 비용 등이 주목받고 있습니다. 이러한 요구는 가스 공급계, 특히 핵심 장비라고 불리우는 Mass Flow Controller 의 요구와 관계가 있습니다. SEC-Eseries는 각종 버너가스의 유량제어, 퍼지가스의 유량제어, 자동화가 요구되는 유량제어설비, 소비유량의 축적유량을 파악한 설비등, 다양한 프로세스에 매력이 있는 비용으로 대응하고...
생산성향상의 요인으로서, 제조설비의 고성능화와 소형화, 저렴한 비용화 등이 주목받고 있습니다. 이러한 요구는 가스공급계, 특히 핵심 장비라고 불려지는 Mass Flow Controller 에 요구되고 있습니다. 비용이 우수한 소레노이드 Valve탑재의 Mass Flow Controller로 구성하고 있으며 프로세스에 맞는 퍼포먼스를 제공하고...
Thermal Valve를 탑재한 SEC-400 series는 안전성의 뛰어난 제어성으로 현재도 다양한 시장에 사용되고 있습니다.
대유량(〜1000SLM)대응의 Mass Flow Controller 입니다.
독자의 공압Metal Diagram과 볼륨Valve 의 채용과 대유량 및 All Metal 구조를 실현한 모델입니다.
고온환경의 사용이 가능한 SEC-8000/2000 시리즈는 Ultra Clean대응의 가스공급계, ppt 레벨의 초미량 가스분석에 이용 될 수 있으며 반도체, 화합물 반도체 프로세스외의 여러가지 용도에 대응한 모델입니다....
고온환경의 사용이 가능한 SEC-8000/2000 시리즈는 Ultra Clean 대응의 가스공급계, ppt 레벨의 초미량 가스의 분석에 사용되는 등 반도체, 화합물 반도체 프로세스외의 다양한 용도에 대응하는...
MARK3시리즈는 Mass Flow Controller에 필요한 품질을 변형하지 않고 가격 인하의 가능성을 철저히 추구한 대량생산 모델입니다. 주용도에는 프로세스용의 가스 유량 제어를 가정하여 재현성에 중점을 둔 조정과 가스의 종류, 유량을 한정해 양산하는 것으로써, 대폭적인 가격인하를 실현하였습니다. 정 유량, 장기간의 안정제어와 반복제어용으로 최적입니다. 또 연구실용의 연속유량제어용으로도...
MARK3 시리즈는 Mass Flow Controller 에 필요한 품질을 변화시키지 않고 가격 인하의 가능성을 철저히 추구한 대량생산 모델입니다.재질과 leak 규격은 일반 모델의 SEC-400,SEC-500 시리즈와 다릅니다.주용도에는 프로세스용의 가스 유량 제어를 가정하여 재현성에 중점을 둔 조정과 가스의 종류, 유량을 한정하고 대량생산 할 수 있으며 대폭 가격인하를 실현하였습니다. 정 유량, 장기간의...