유량계(Mass Flow Meter)
반도체제조장비의 주요 부품 Mass Flow Controller. 그 성능, 품질은 반도체 품질 자체에 영향을 주는 정도로 중요한 역할을 담당하고 있습니다.그런 엄격한 업계에 있어 고품질로 기능성을 높인 제품을 계속해서 시장에 투입하고, 세계 30%이상을 자랑하고 있는 호리바에스텍이기 때문에 종래의 개념을 깨뜨린 완전히 새로운 종류의 Mass Flow Controller 가 탄생했습니다. 이제까지 가스의...
SEC-8000F/D series 는 종래의 고온환경대응Mass Flow Controller의 Digital 제어회로를 탑재한 모델입니다. Digital Network의 실현함과 동시에 지능화 가스Valve의 구축, 배선감소에 따른 소형화한 가스 판넬의 구축 등 다양한 기체 및 액체 시스템이 구축 가능해 졌습니다. 또 종래 제품의 성능 향상 및 폭넓은 프로세스에 대응하고 있습니다....
생산성 향상의 요인으로서 제조 설비의 고성능화나 소형화•Low cost화등이 주목되고 있습니다.이러한 요구는 가스 공급계, 특히 키 디바이스라고 칭해지는 Mass Flow Controller 의 요구와 관계가 있습니다. SEC-E series는 각종 버너 가스의 유량 제어, 퍼지 가스의 유량 제어, 실험 가스로의 가스 유량 제어, 자동화가 요구되는 유량 제어 설비, 소비 유량의 적산량을 파악하고 싶은 설비...
Thermal valve를 탑재한 SEF-400 시리즈는 안정성이 우수한 제어성에 의해 현재도 수많은 시장에서 사용되고 있습니다.
고온 환경에서 사용이 가능한 SEF-8000/2000 시리즈는, Ultra Clean 대응의 가스 공급계, ppt 레벨의 초미량 가스 분석에 이용되는 등 , 반도체•화합물 반도체 프로세스외의 여러가지 용도에 대응한...
고온 환경에서 사용이 가능한 SEF-8000/2000 시리즈는, Ultra Clean 대응의 가스 공급계, ppt 레벨의 초미량 가스 분석에 이용되는 등 , 반도체•화합물 반도체 프로세스외의 여러가지 용도에 대응한...
「플로우 라인」시리즈는, 최첨단 반도체 제조 기술을 응용해 실리콘 칩상에 형성된, 초소형의 유량 센서를 내장한 기체 유량계입니다.측정 가스의 흐름안에 유량 센서를 배치해, 전 유량을 고속 검지하는 Throwflow 방식을 채용하고 있습니다.또 유량은 질량 유량으로서 측정되기 때문에, 표면 유량계에 비해 압력 변화나 설치 방향 등에 의한 지시 오차가 없고, 종래의 유량계에서는 실현될 수 없었던 새로운 용도의...
「플로우 라인」시리즈는, 최첨단 반도체 제조 기술을 응용해 실리콘 칩상에 형성된, 초소형의 유량 센서를 내장한 기체류량계입니다.측정 가스의 흐름안에 유량 센서를 배치해, 전 유량을 고속 검지하는 Throwflow 방식을 채용하고 있습니다.또 유량은 질량 유량으로서 측정되기 때문에, 표면 유량계에 비해 압력 변화나 설치 방향 등에 의한 지시 오차가 없고, 종래의 유량계에서는 실현될 수 없었던 새로운 용도의...
「플로우 라인」시리즈는, 최첨단 반도체 제조 기술을 응용해 실리콘 칩상에 형성된, 초소형의 유량 센서를 내장한 기체류량계입니다.측정 가스의 흐름안에 유량 센서를 배치해, 전 유량을 고속 검지하는 Throwflow 방식을 채용하고 있습니다.또 유량은 질량 유량으로서 측정되기 때문에, 표면 유량계에 비해 압력 변화나 설치 방향 등에 의한 지시 오차가 없고, 종래의 유량계에서는 실현될 수 없었던 새로운 용도의...
「플로우 라인」시리즈는, 최첨단 반도체 제조 기술을 응용해 실리콘 칩상에 형성된, 초소형의 유량 센서를 내장한 기체류량계입니다.측정 가스의 흐름안에 유량 센서를 배치해, 전 유량을 고속 검지하는 Throwflow 방식을 채용하고 있습니다.또 유량은 질량 유량으로서 측정되기 때문에, 표면 유량계에 비해 압력 변화나 설치 방향 등에 의한 지시 오차가 없고, 종래의 유량계에서는 실현될 수 없었던 새로운 용도의...