Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

반도체제조장비의 주요 부품 Mass Flow Controller. 그 성능, 품질은 반도체 품질 자체에 영향을 주는 정도로 중요한 역할을 담당하고 있습니다.그런 엄격한 업계에 있어 고품질로 기능성을 높인 제품을 계속해서 시장에 투입하고, 세계 30%이상을 자랑하고 있는 호리바에스텍이기 때문에 종래의 개념을 깨뜨린 완전히 새로운 종류의 Mass Flow Controller 가 탄생했습니다. 이제까지 가스의...

High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000 F/D Series

SEC-8000F/D series 는 종래의 고온환경대응Mass Flow Controller의 Digital 제어회로를 탑재한 모델입니다. Digital Network의 실현함과 동시에 지능화 가스Valve의 구축, 배선감소에 따른 소형화한 가스 판넬의 구축 등 다양한 기체 및 액체 시스템이 구축 가능해 졌습니다. 또 종래 제품의 성능 향상 및 폭넓은 프로세스에 대응하고 있습니다.

SEF-E series mass flow controllers

생산성 향상의 요인으로서 제조 설비의 고성능화나 소형화•Low cost화등이 주목되고 있습니다.이러한 요구는 가스 공급계, 특히 키 디바이스라고 칭해지는 Mass Flow Controller 의 요구와 관계가 있습니다. SEC-E series는 각종 버너 가스의 유량 제어, 퍼지 가스의 유량 제어, 실험 가스로의 가스 유량 제어, 자동화가 요구되는 유량 제어 설비, 소비 유량의 적산량을 파악하고 싶은 설비...