차압검출방식 PI Mass Flow Module Criterion D200 series
Mass Flow Controller 전후에 압력변동이 발생하더라도 안정된 유량제어를 할 수 있습니다. 멀티 챔버의 가스 라인은, 압력변동에 따른 Mass Flow Controller의 크로스토크 현상이 발생하기 쉽기 때문에 라인 Regulator, 압력 Sensor, Filter 가 장착되어 있습니다. 신형 Mass Flow Meter SEC-Z700 series, Criterion D200 Series는...
