Compact Reticle/Mask Particle Detection System PR-PD3

 

높은 가동률과 높은 안정성으로, 많은 반도체 제조 현장으로부터 높게 평가되고 있는 HORIBA의 이물 검사 장치 PD시리즈 입니다. 장기간 안정적으로 가동되는 반송계와 높은 수율의 고성능 기능을 그대로 이어받아, Compact하게 Upgrade 한 것으로, Reticle/Mask 이물 검사 장치 PR-PD3입니다. 기존의(PR-PD2)와 비교해서 약1/2의 소형화를 실현한 동시에, 낮은 운용비를 실현 하였으며, 0.5μm의 검출 감도에 의한 넓은 범용성 및 Reticle/Mask 상의 이물 측정과 이물 검사에 필요한 폭넓은 요구에 만족하는 심플한 장치가 탄생했습니다.

PR-PD5 Particle detection system

PD시리즈의 고성능을 이어가면서, 한층 더 소형화 되었으며, 낮은 가격을 실현 하였습니다. reticle stockers 나 steppers, 세정 장치등의 장비와 결합이 가능합니다.

 

* reticle 반전 기구

* 0.5~50μm선택 가능

* 장비 내장/조합형

PR-PD2HR Particle detection system

높은 수율로 효율적인 이물 검사•측정을 실현.

 

높은 가동률과 안정성 등, 수많은 고성능•고기능으로 많은 반도체 제조 현장에서 높게 평가되고 있는 HORIBA의 Reticle/Mask 이물 검사 장치 PD시리즈 입니다. 긴시간 안정적으로 가동되는 반송계와 고수율과 고성능 기능을 한층 더 독자적으로 개발한 신호 처리 방식에 의해 Pr-PD 시리즈중 최고 감도로 최소 0.35μm의 미세 이물 검출을 가능하게 한 것이, 이 Reticle/Mask 이물 검사 장치 PR-PD2HR입니다.

각종의 스텝퍼 케이스에 대응하며, 최대 10단까지의 다단 소타나 기능과 함께 각종 통신 기능도 충실합니다. PD시리즈만이 가능한 넓은 범용성으로 Reticle/Mask 상의 이물 검출은 물론, 유리/Paticle 각 면을 고수율로 측정해, 모든 반도체 제조 라인의 제품 비율 향상에 뛰어난 성능을 발휘합니다

 

HORIBA's PR-PD2 Particle Detection System

높은 수율로 효율적인 이물 검사•측정을 실현.

 

높은 가동률과 안정성 등, 수많은 고성능•고기능으로 많은 반도체 제조 현장에서 높게 평가되고 있는 HORIBA의 Reticle/Mask 이물 검사 장치 PD시리즈 입니다. 긴시간 안정적으로 가동되는 반송계와 고수율과 고성능 기능을 한층 더 독자적으로 개발한 신호 처리 방식에 의해 Pr-PD 시리즈중 최고 감도로 최소 0.35μm의 미세 이물 검출을 가능하게 한 것이, 이 Reticle/Mask 이물 검사 장치 PR-PD2입니다.