
아나로그 유량제어기
생산성향상의 요인으로, 제조설비의 고성능화와 소형화. 저렴한 비용 등이 주목받고 있습니다. 이러한 요구는 가스 공급계, 특히 핵심 장비라고 불리우는 Mass Flow Controller 의 요구와 관계가 있습니다. SEC-Eseries는 각종 버너가스의 유량제어, 퍼지가스의 유량제어, 자동화가 요구되는 유량제어설비, 소비유량의 축적유량을 파악한 설비등, 다양한 프로세스에 매력이 있는 비용으로 대응하고...
생산성향상의 요인으로서, 제조설비의 고성능화와 소형화, 저렴한 비용화 등이 주목받고 있습니다. 이러한 요구는 가스공급계, 특히 핵심 장비라고 불려지는 Mass Flow Controller 에 요구되고 있습니다. 비용이 우수한 소레노이드 Valve탑재의 Mass Flow Controller로 구성하고 있으며 프로세스에 맞는 퍼포먼스를 제공하고...
대유량(〜1000SLM)대응의 Mass Flow Controller 입니다.
독자의 공압Metal Diagram과 볼륨Valve 의 채용과 대유량 및 All Metal 구조를 실현한 모델입니다.
Thermal Valve를 탑재한 SEC-400 series는 안전성의 뛰어난 제어성으로 현재도 다양한 시장에 사용되고 있습니다.




