SEC-E series mass flow controllers

생산성향상의 요인으로, 제조설비의 고성능화와 소형화. 저렴한 비용 등이 주목받고 있습니다. 이러한 요구는 가스 공급계, 특히 핵심 장비라고 불리우는 Mass Flow Controller 의 요구와 관계가 있습니다. SEC-Eseries는 각종 버너가스의 유량제어, 퍼지가스의 유량제어, 자동화가 요구되는 유량제어설비, 소비유량의 축적유량을 파악한 설비등, 다양한 프로세스에 매력이 있는 비용으로 대응하고...

SEC-E400J

생산성향상의 요인으로서, 제조설비의 고성능화와 소형화, 저렴한 비용화 등이 주목받고 있습니다. 이러한 요구는 가스공급계, 특히 핵심 장비라고 불려지는 Mass Flow Controller 에 요구되고 있습니다. 비용이 우수한 소레노이드 Valve탑재의 Mass Flow Controller로 구성하고 있으며 프로세스에 맞는 퍼포먼스를 제공하고...

SEC-6470 6480

대유량(〜1000SLM)대응의 Mass Flow Controller 입니다.

독자의 공압Metal Diagram과 볼륨Valve 의 채용과 대유량 및 All Metal 구조를 실현한 모델입니다.

SEC-400

Thermal Valve를 탑재한 SEC-400 series는 안전성의 뛰어난 제어성으로 현재도 다양한 시장에 사용되고 있습니다.