SEF-E series mass flow controllers

생산성 향상의 요인으로서 제조 설비의 고성능화나 소형화•Low cost화등이 주목되고 있습니다.이러한 요구는 가스 공급계, 특히 키 디바이스라고 칭해지는 Mass Flow Controller 의 요구와 관계가 있습니다. SEC-E series는 각종 버너 가스의 유량 제어, 퍼지 가스의 유량 제어, 실험 가스로의 가스 유량 제어, 자동화가 요구되는 유량 제어 설비, 소비 유량의 적산량을 파악하고 싶은 설비...