Reticle/Mask Particle Remover RP-1

Blower와 진공흡입으로 이물질을 자동으로 제거 합니다.

Reticle/Mask에 부착된 이물을 Air(또는 N2) Blower와 진공흡인에 의해 자동제거 합니다. 노광전의 루틴 운용으로 매번 이물을 제거하는 것에 의해 마스크의 세정 주기를 연장시키고 운용비를 절감 할 수 있습니다.