Digital Auto Pressure Regulator

UR-Z700 series는 고정밀도 압력 센서, 고분해능·고속 응답의 Piezo Valve 를 탑재한 디지털 타입의Auto Pressure Regulator 입니다. 디지털 네트워크의 실현에 의해, 고도의 액체 재료 기화 시스템의 구축, 배선 단축화에 의한 심플한 가스 패널의 구축 등, 한층 더 높은 수준의 유체 제어 시스템이 구축이 가능해졌습니다.또, Ultra Clean 대응으로, 초고순도 가스...