FLOLINE
「플로우 라인」시리즈는, 최첨단 반도체 제조 기술을 응용해 실리콘 칩상에 형성된, 초소형의 유량 센서를 내장한 기체 유량계입니다.측정 가스의 흐름안에 유량 센서를 배치해, 전 유량을 고속 검지하는 Throwflow 방식을 채용하고 있습니다.또 유량은 질량 유량으로서 측정되기 때문에, 표면 유량계에 비해 압력 변화나 설치 방향 등에 의한 지시 오차가 없고, 종래의 유량계에서는 실현될 수 없었던 새로운 용도의...
「플로우 라인」시리즈는, 최첨단 반도체 제조 기술을 응용해 실리콘 칩상에 형성된, 초소형의 유량 센서를 내장한 기체류량계입니다.측정 가스의 흐름안에 유량 센서를 배치해, 전 유량을 고속 검지하는 Throwflow 방식을 채용하고 있습니다.또 유량은 질량 유량으로서 측정되기 때문에, 표면 유량계에 비해 압력 변화나 설치 방향 등에 의한 지시 오차가 없고, 종래의 유량계에서는 실현될 수 없었던 새로운 용도의...
「플로우 라인」시리즈는, 최첨단 반도체 제조 기술을 응용해 실리콘 칩상에 형성된, 초소형의 유량 센서를 내장한 기체류량계입니다.측정 가스의 흐름안에 유량 센서를 배치해, 전 유량을 고속 검지하는 Throwflow 방식을 채용하고 있습니다.또 유량은 질량 유량으로서 측정되기 때문에, 표면 유량계에 비해 압력 변화나 설치 방향 등에 의한 지시 오차가 없고, 종래의 유량계에서는 실현될 수 없었던 새로운 용도의...
「플로우 라인」시리즈는, 최첨단 반도체 제조 기술을 응용해 실리콘 칩상에 형성된, 초소형의 유량 센서를 내장한 기체류량계입니다.측정 가스의 흐름안에 유량 센서를 배치해, 전 유량을 고속 검지하는 Throwflow 방식을 채용하고 있습니다.또 유량은 질량 유량으로서 측정되기 때문에, 표면 유량계에 비해 압력 변화나 설치 방향 등에 의한 지시 오차가 없고, 종래의 유량계에서는 실현될 수 없었던 새로운 용도의...