FPM Monitor / CS-153

CS-153은, 반도체【WET-ETCHING Process】의 엄격한 니즈에 대응하기 위해서 개발된 고정밀도인 약액농도 모니터입니다. 산화막과 함께 금속불순물을 제거하기 위해서 사용되는 FPM용액(HF/H2O2/H2O)의 각 성분농도를 실시간으로 측정하고, 알람에서 시약교환이나 자동보급하는 타이밍을 알립니다. 이것에 의해 FPM용액의 농도를 허용 범위에 유지하는 동시에 쓸데 없는 시약교환을 없앨 수...