HORIBA Applications

HORIBAのコア技術をベースに、半導体製造プロセスにおけるインゴットからウェハ評価まで幅広いアプリケーションをご紹介いたします。

■ 材料分析・デバイス評価
2Dマテリアル分析用 AFMラマン分光装置
プリント基板上異物分析 微小部蛍光X線元素分析装置 XGT-9000

■ Lithography
レティクル/マスク異物検査装置 PR-PD3EP
レティクル/マスク自動異物除去装置 RP-1

■ Dry Process
サーマル式マスフローモジュール SEC-Z700S
コンパクトプロセスガスモニタ MICROPOLE System
プラズマ発光モニタ EV-140C
ガスモニタ IR-400

■ Wet Process
薬液濃度モニタ CS-700
微量サンプリングpHモニタ UP-100
単波長吸光度計 HA-960
低濃度HF中溶存酸素計 HD-960L
フラットカーボン導電率計 HE-960LF

■ Utility / Wastewater
pH・水質分析計 LAQUA / LAQUAact / LAQUAtwin
現場形水質計 H-1シリーズ