分子の吸光・発光に基づく分析法

水素ステーションや空気分離装置、半導体製造など産業ガス製造設備における、微量不純物(CO, CO₂, CH₄ シロキサン)をppbレベルでモニタリングし品質管理に貢献する高精度なガス分析計です。

原理：

低迷光アプリケーションおよび単色光源に最適なダブルモノクロメータ

HE（High Efficiency）ラマンプロセスシステムはプロセスコントロールのためにハイスループットで安定したシステムとして開発されました。内部の光学部品が全て固定されており外観も頑丈でコンパクトに設計され、極力メンテナンスを少なくし操作も簡単にすることでプロセス現場からの要望に完全に応えています。

CS-153Nは、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。シリコン酸化膜のエッチングのために使われるHNO3/HF溶液(HNO3/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりHNO3/HF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

最高感度0.01μg/L(0.01ppb)で、極低濃度のシリカを測りたいという要求に確実にお答えします

半導体特製造プロセスの厳しいニーズに対応するために開発された高精度なフッ酸濃度モニタです。電磁誘導方式導電率計の採用により、フッ酸濃度を測定し、リアルタイムに表示します。しかも、低濃度域においても高い再現性精度を実現。エッチングを含むウエハの洗浄工程におけるフッ酸濃度の管理をはじめ、フッ酸が利用されている様々な産業分野に幅広く対応します。

高分解能・高性能な中型モノクロメータで、多くのアプリケーションに適しています。

ユニークなデザインの、ユニークな分光器です。通常のCzerny-Turnerマウントの分光器のような、核型の分光器と異なるデザインは、きわめて高品位なイメージング性能を得るために、また、高いスループットを得るために採用されました。計算された光学設計により、CCD検出器を使用した場合、イメージングもしくはレゾリューションで最適化できます。数多くのアプリケーションに対応した、使いやすく、信頼性の高い中型分光器です。

生産終了いたしました。後継機種は溶存オゾンモニタHZ-960をご参照ください。

液体窒素冷却タイプの低ノイズ検出器で、近赤外領域を、高速・高感度で測定します。