電気化学反応に基づく分析法

ソレノイドバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

共存ガスの影響を受けない高精度で安定性にすぐれた、磁気圧力方式（圧力検出形）を使用した酸素ガス分析計です。

原理：

マスフローコントローラの動作確認を行う簡易チェッカです。

メタルO-リング対応の大流量モデル

信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。

サーマルバルブ搭載の高安定性アナログマスフローコントローラ

微少流量から大流量計測に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローメータ

サーマルバルブ搭載、マスフローメータのベーシックモデル

新気化方式のトルネードフロー方式による高効率気化を実現した小型の液体材料気化システムです。低温度での安定気化が可能です。

気液混合気化方式を採用した小型液体材料気化システム。液体材料の高効率気化を実現。