オートリフィルシステム LU Series

液体材料を「安全に」「無駄なく」「迅速に」液体材料気化システムへ自動供給できるオートレフィルシステム

SEC-400MK3/500MK3

サーマルバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

SEC-E40/50MK3

ソレノイドバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

マスフローチェッカ MFT-20

マスフローコントローラの動作確認を行う簡易チェッカです。

SEC-6470 6480

メタルO-リング対応の大流量モデル

Mass Flow Controller SEC-E Series

信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。

Mass Flow Controller SEC-400 Series

サーマルバルブ搭載の高安定性アナログマスフローコントローラ

SEF-E series mass flow controllers

微少流量から大流量計測に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローメータ

SEF-400

サーマルバルブ搭載、マスフローメータのベーシックモデル

液体材料気化システム MV-2000 Series

新気化方式のトルネードフロー方式による高効率気化を実現した小型の液体材料気化システムです。低温度での安定気化が可能です。

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。

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