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液体材料を「安全に」「無駄なく」「迅速に」液体材料気化システムへ自動供給できるオートレフィルシステム
サーマルバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ
ソレノイドバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ
マスフローコントローラの動作確認を行う簡易チェッカです。
メタルO-リング対応の大流量モデル
信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。
サーマルバルブ搭載の高安定性アナログマスフローコントローラ
微少流量から大流量計測に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローメータ
サーマルバルブ搭載、マスフローメータのベーシックモデル
新気化方式のトルネードフロー方式による高効率気化を実現した小型の液体材料気化システムです。低温度での安定気化が可能です。
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