Analysis based on
コンパクトベーキングシステム LSC Series
概要
純水をはじめとした様々な液体材料をガス化し、任意の流量に制御し供給するシステムです。微少流量から大流量まで、安定した気化が可能です。気化発生時にも液体材料を気化タンクへ供給し、長時間の連続発生を可能としています。
特長
- 微少流量から大流量まで、安定した液体材料気化が可能です。
- 高温状態のガスでも流量制御可能なマスフローコントローラを搭載しています。
- 気化発生時にも液体材料を気化タンクへ供給することで、長時間の連続発生を可能としています。
- 液体材料と気化流量、発生条件に合うシステムの提案を行います。また、生産設備組込タイプなどの対応も行っています。お気軽にお問合せください。
製造会社: HORIBA STEC
仕様
発生流量 | H2O 2SLM、TEOS 600SCCM(max) |
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使用圧力 | max:1.33kPa |
ソースタンク容量 | 2.7L |
温調方式 | 温調器によるPID制御 |
液面検出方法 | フロートスイッチ |
内蔵 | SEC-8400 Series |
空圧弁 | ベローズタイプ、ダイヤフラムタイプ |
接液・ガス部材質 | SUS-316L、PA |
使用周囲温度 | 20〜35℃ |
外部入力 | 空圧弁開閉 |
外部出力 | 本体予熱完了信号温度アラーム液レベルH.H.アラーム |
電源 | AC 100 V 単相50/60 Hz 1.5 kVA |
その他 | オートリチャージシステム:LU seriesとの接続が可能です。 |
アプリケーション
幅広い産業でご使用いただいています
- 各種生産装置への搭載:半導体、液晶、LED、太陽電池、パワー半導体、光ファイバー、コーティングなど
- 一般産業:雰囲気ガス制御、混合ガス発生 など
- 研究・開発:各種ガスセンサー性能評価機器、触媒性能評価機器、バイオ関連評価機器、燃焼器具性能評価機器 など
- ラボ:各種実験用ガス流量制御機器 など
液体材料気化システムをトータルにサポート
プロセスに応じた液体材料気化システム(インジェクション方式、ベーキング方式)へ、液体材料マザータンクから安全に迅速に液体材料を自動供給する総合的なシステムをご提供しています。