Application
低濃度HF/HCl/NH3濃度モニタ <HF-960M>
概要
ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適
低濃度のフッ酸・塩酸・アンモニアを高精度に測定
半導体洗浄プロセスではデバイスの進化・微細化に伴い、RCA洗浄の薬液も低濃度でのコントロールが要求されています。
HF-960Mは耐食性に優れたセンサを採用し、低濃度のフッ酸、塩酸、アンモニアをそれぞれ高速に測定しますので、ワンバス洗浄や枚葉洗浄にも最適な製品です。
特長
- HF濃度、HCl濃度、NH3濃度、導電率、温度の5種類を測定
- アナログ出力を濃度測定範囲で任意設定可能
- 接点出力点数7点装備
- 3系統の伝送出力を搭載
製造会社: HORIBA Advanced Techno
仕様
製品名 | 低濃度HF/HCl/NH3濃度モニタ |
|---|---|
型名 | HF-960M |
周囲温度 | −5〜45℃ |
相対湿度 | 20〜85％（結露しないこと） |
保存温度 | −25〜65℃ |
電源 | 定格電圧 24V DC 10W（max） |
外形寸法 | 96（W）×96（H）×115（D） ケース奥行：約105mm（パネルマウント時） |
質量 | 約550g |
適合規格 | CEマーキング、FCC Part15 |
外形寸法図・他（単位：mm）
