半導体・FPD製造

各種培養プロセスにおける、マスフローコントローラの定期校正に

高精度精密膜流量計は、ガラス体積管に石鹸膜ディテクタ(実用新案登録)を組み合わせ、各種ガスの流量を精密に測定するものです。ガラス体積管内(既知体積)を石鹸膜が移動する時間を測定し、その時の大気圧、気温等の値からガスの流量を算出します。測定するガスの流量により4種類のガラス体積管ユニット(VP-Uシリーズ)を取り揃えています。SF-2Uは本体内部に大気圧センサーを内蔵しているので大気圧の入力が不...

15℃から120℃までの高温環境対応のデジタルマスフローコントローラ

高温環境対応、サーマルバルブ搭載のマスフローコントローラ

高温環境対応のマスフローメータ

最高感度0.01μg/L(0.01ppb)で、極低濃度のシリカを測りたいという要求に確実にお答えします

半導体特製造プロセスの厳しいニーズに対応するために開発された高精度なフッ酸濃度モニタです。電磁誘導方式導電率計の採用により、フッ酸濃度を測定し、リアルタイムに表示します。しかも、低濃度域においても高い再現性精度を実現。エッチングを含むウエハの洗浄工程におけるフッ酸濃度の管理をはじめ、フッ酸が利用されている様々な産業分野に幅広く対応します。

生産終了いたしました。後継機種は溶存オゾンモニタHZ-960をご参照ください。

使用頻度の高い機能を中心に搭載したスタンダードタイプのpH計です。 工業排水の放流水監視から、各種工業分野における製造工程の監視、品質検査、水産、養殖まで幅広い用途に対応します。

液体材料を｢安全に」「無駄なく」「迅速に」液体材料気化システムへ自動供給できるオートレフィルシステム

ウェットプロセスにおける硫酸・過酸化水素中のppmレベルのフッ酸濃度管理を実現