低濃度HF/HCl/NH3濃度モニタ HF-960M 製品画像

ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適、低濃度のフッ酸・塩酸・アンモニアを高精度に測定

SEC-400MK3/500MK3

サーマルバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

SEC-E40/50MK3

ソレノイドバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

PR-PD5 Particle detection system

PDシリーズの高性能を継承しながら、一層の小型化により、優れたコストパフォーマンスを実現。レティクルストッカやステッパ、洗浄装置などへの組み込みも可能です。

レティクル反転機構0.5ー50μm選択可能検査系1系統装置内蔵/組合せ型

マスフローチェッカー MFT-20

マスフローコントローラの動作確認を行う簡易チェッカです。

SEC-6470 6480

メタルO-リング対応の大流量モデル

Mass Flow Controller SEC-E Series

信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。

Mass Flow Controller SEC-400 Series

サーマルバルブ搭載の高安定性アナログマスフローコントローラ

SEF-E series mass flow controllers

微少流量から大流量計測に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローメータ

SEF-400

サーマルバルブ搭載、マスフローメータのベーシックモデル

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堀場製作所
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