液体材料気化システム MV-2000 Series

新気化方式のトルネードフロー方式による高効率気化を実現した小型の液体材料気化システムです。低温度での安定気化が可能です。

液体材料気化システム MI-1000/MV-1000 series

気液混合気化方式を採用した小型液体材料気化システム。液体材料の高効率気化を実現。

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。

OpenPlex

表面プラズモン共鳴(SPR)法は、ラベルフリーで分子間相互作用を解析できる手法で、分子間の結合から解離に関わる各種パラメーターを計測することができます。

タンパク-タンパク、DNA-DNAなどの同種間の相互作用だけでなく、DNA-タンパクなど異種の分子間相互作用も計測可能です。さらに、抗体-微生物、抗体-培養細胞といった細胞表面との相互作用も計測することができます。

ピエゾバルブ PV Series

メタルダイヤフラム、メタルO-リングを内蔵した高速応答ピエゾアクチュエータ―バルブ

PR-PD2HR Particle detection system

先端マスク検査の大幅コストダウンを実現

高い稼働率と長期にわたる安定性を誇るレティクル・マスク異物検査装置PDシリーズ。その高性能機能を継承し、さらにS/N比を3倍以上向上、実用感度を大幅に向上させて、シリーズ最新機種HORIBA...

HORIBA's PR-PD2 Particle Detection System

高スループットで効率的な異物検査・測定を実現。高い稼働率と長期にわたる安定性など、数々の高性能・高機能で多くの半導体製造現場で高く評価されているHORIBAのレティクル/マスク異物検査装置PDシリーズ。長期安定稼動する搬送系、高スループットなどの高性能機能を継承し、さらに独自に開発した信号処理方式により、シリーズ最高感度、最小0.35μmの微細異物検出を可能にしたのが、このレティクル/マスク異物検査装置PR-PD2です。各種のステッパーケースに対応する最大...

Standard Clean 1 (SC-1) chemical concentration monitor image

CS-131は、半導体製造における洗浄工程のSC-1溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。パーティクルや有機物の除去に使われるSC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)の各成分濃度を常時モニタします。モニタ出力を用いたフィードバック制御を行うことにより、SC-1溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な薬液交換をなくすことができます。また冷却器一体型もラインアップし、広範囲なサンプル温度範囲に対応しました。

Appearance of CS-152, SC-2 monitor

CS-152は、半導体製造における洗浄工程のSC-2溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。金属イオン除去に使われるSC-2溶液(HCl/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで自動補給するタイミングを知らせます。短い測定周期の実現により濃度変化に対しても忠実に追従し、またコンパクト設計により容易に洗浄装置へ組込むことができます。

SEC-E series mass flow controllers

微少流量から大流量制御に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローコントローラ

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