半導体・FPD製造

CS-150は、半導体製造における洗浄工程のSPM溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。レジスト剥離や有機物の除去に使われるSPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで自動補給するタイミングを知らせます。高速応答、短い測定周期の実現により濃度変化に対しても忠実に追従し、またコンパクト設計により容易に洗浄装置へ組込むことができます。

A range of fiber optic coupled Raman probe heads for remote analysis. Suitable for immersion and high temperature/pressure conditions.

CS-139Eは、半導体製造における洗浄工程のTMAH/H2O2溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。パーティクルや有機物の除去に代替SC-1として使用されるTMAH/H2O2溶液(TMAH/H2O2/H2O)の各成分濃度を常時モニタします。モニタ出力を用いたフィードバック制御を行うことにより、TMAH/H2O2溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な薬液交換をなくすことができます。また冷却器一体型もラインアップし、広...

マルチチャンネルディテクタ（CCD）の性能を十分に発揮させることができるラマン測定モノクロメータ。

In-Line Spectroscopic Ellipsometer for Web Coater and Roll to Roll Systems

紫外域～近赤外域まで対応のR&D向け高精度分光エリプソメーター

先端研究の薄膜・表面・界面の特性評価のために、UVISEL Plusは、モジュール式と性能面でベストな組み合わせを提供します。UVISEL Plusは、位相変調技術に基づき、紫外域190nmから近赤外域2100nmまでの広範囲な波長域をカバーしており、高精度・高分解能測定・素晴らしいS/N比で、全波長域に渡って高品質な測定データを採取することができます。

UVISEL...

ウェハ裏面の温度制御に不可欠なガスの圧力制御に最適。ピエゾアクチュエーターバルブを搭載し、高安定性・高精度を実現しています。

10μmの革命！真空チャンバ（デュアル・バキューム・チャンバ）装備によりサンプル形態・分析目的に合わせ、分析環境を切替、軽元素の高感度分析が可能！高純度Si半導体検出器搭載。

ラマン顕微鏡XploRA　PLUSは、高い操作性を持つ、共焦点顕微ラマン分光装置です。コンパクトなボディにラマン分析で必要な機能を凝縮しました。サブミクロンスケールの空間分解能を持ち、ポイント分析だけでなく、モータステージとの組み合わせによりマッピング測定が可能です。