オートプレッシャーレギュレータ UR-7300 series

概要

各種プロセスのライン圧力制御に最適
圧力制御設定信号の入力によりライン圧力の遠隔制御が可能
高性能圧力センサとピエゾバルブを内蔵
ウルトラクリーン対応のプロセスラインに最適

特長

  • ウルトラクリーン対応  - オールメタル構造を採用(Mタイプ)
  • 高速応答 - 応答速度 0.5sec以内
  • マウントフリーデザイン - 取付け姿勢が自由で、電気信号による制御が可能な為、ガス系設計の自由度が大幅に向上します。
  • 一次側制御タイプ(-Bタイプ)、二次側制御タイプをラインアップ
  • ケージ圧タイプ、絶体圧タイプより選択いただけます

製造会社: HORIBA STEC

仕様

UR-7340

接ガス部材質

Mタイプ:SUS-316L
Rタイプ:SUS-316L,バイトン

圧力制御レンジ

20-950kPa(G) 10-500kPa(G) 10-300kPa(A)

調圧流量

1L/min(CV値;0.0032)
5L/min(CV値;0.016)

調圧精度

±1% F.S.(フルスケール)

その他

一次圧調圧モデルも製作可能です。
バルブ動作:非通電時、開/閉の選択可能

UR-7350

接ガス部材質

Mタイプ:SUS-316L
Rタイプ:SUS-316L,バイトン

圧力制御レンジ

20-950kPa(G) 10-500kPa(G) 10-300kPa(A)

調圧流量

10L/min(CV値;0.032)

調圧精度

±1% F.S.(フルスケール)

その他

一次圧調圧モデルも製作可能です。
バルブ動作:非通電時、開/閉の選択可能

外形寸法図・他(単位:mm)

オートプレッシャーレギュレータ UR-7300 series

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