排気圧コントローラ EC series for Bio process

概要

バイオリアクターの内部圧力を任意の値に一定に制御する排気圧コントローラ。各種培養プロセスにおける排気圧制御に最適です。高温対応、耐腐食性対応が可能です。 

特長

  • 高真空対応
    ステンレスボディを採用
  • 耐腐食性対応
    PTFE(ふっ素樹脂)採用モデルもラインアップ
  • 排気圧制御システムを構築
    微差圧センサ(EMTGC1B-A)
    コントローラ(PCU-3000)をラインアップ
  • RoHS指令対応

※本製品(EC-5202)は、外国為替及び外国貿易法上の規制された貨物です。海外に輸出される場合は、経済産業大臣の許可が必要となります。


製造会社: HORIBA STEC

仕様

EC-5104

取合いサイズ

NW40

接ガス部材質

SUS-316L、バイトン®

コンダクタンス
(真空領域)

0.4 〜 80 L/s

100mmH2Oでの出流れ
(フルクローズ)

20 L/min

 

EC-5105

取合いサイズ

NW50

接ガス部材質

SUS-316L、バイトン®

コンダクタンス
(真空領域)

0.6 〜 200 L/s

100mmH2Oでの出流れ
(フルクローズ)

25 L/min

EC-5202

取合いサイズ

25mmテフロン®継手
1インチテフロン®継手

接ガス部材質

PTFE、PEEK、バイトン®

コンダクタンス
(真空領域)

0.4 〜 80 L/s

100mmH2Oでの出流れ
(フルクローズ)

3 L/min

外形寸法図・他(単位:mm)

EC_shematics

アプリケーション

  • 拡散プロセスの歩留まり向上、腐食ガスリークの防止、大気からのコンタミネーションの低減
  • エッチャーやCVDでのチャンバ圧力制御、スピンコーターの排気量制御

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