Application
高温対応マスフローコントローラ SEC-2000 series
概要
高温環境での使用が可能なSEC-8000/2000シリーズは、ウルトラクリーン対応のガス供給系、pptレベルでの超微量ガス分析に用いられる等、半導体・化合物半導体プロセス外の様々なご用途に対応したモデルです。
特長
- サーマルバルブ搭載モデル
- TEOS気化供給システムとして多数の納入実績を誇るLSCシリーズへ標準搭載されているモデル
製造会社: HORIBA STEC
高温環境での使用が可能なSEC-8000/2000シリーズは、ウルトラクリーン対応のガス供給系、pptレベルでの超微量ガス分析に用いられる等、半導体・化合物半導体プロセス外の様々なご用途に対応したモデルです。
製造会社: HORIBA STEC